mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

過程變量變送器的發(fā)展趨勢

一、什么是過程變量變送器（PVT）為實現(xiàn)水泥工藝過程控制，自動化控制系統(tǒng)中必須從現(xiàn)場采集工藝過程變量。過程變...
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差壓變送器在應用中的故障診斷與分析

1、引言在工業(yè)自動化生產(chǎn)中，差壓變送器用于壓力壓差流量的測量，得到了非常廣泛應用，在自動控制系統(tǒng)中發(fā)揮重要...
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超聲波傳感器及應用

人們能聽到聲音是由于物體振動產(chǎn)生的，它的頻率在20HZ-20KHZ范圍內(nèi)，超過20KHZ稱為超聲波，低于20HZ的稱為次聲波...
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壓電交通傳感器在ITS中的應用

隨著全球智能交通技術(shù)(ITS)的發(fā)展，與眾多的技術(shù)一樣，美國MSI傳感器公司研發(fā)與生產(chǎn)的壓電傳感器在過去數(shù)年里取...
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車用傳感器發(fā)展驅(qū)動力及趨勢

一直以來，傳感器技術(shù)就被廣泛地應用在日常信息、通訊、汽車、醫(yī)療等外圍精密設備上，其中又以汽車工業(yè)作為車用...
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電容式觸摸傳感器的提升應用設計

好像在突然之間，電容式傳感器就無處不在了。它被安裝在汽車座位里以控制氣囊配置和安全帶預緊裝置，在洗碗機和...
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數(shù)字式扭矩傳感器技術(shù)性能及應用

一、前言在旋轉(zhuǎn)動力系統(tǒng)中最頻繁涉及到的參數(shù):旋轉(zhuǎn)扭矩,為了檢測旋轉(zhuǎn)扭矩傳統(tǒng)使用較多的是扭轉(zhuǎn)角相位差式...
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CNJ-00A系列扭矩傳感器概述

一.前言在旋轉(zhuǎn)動力系統(tǒng)中有很多的參數(shù)需要測量或計算，扭矩（轉(zhuǎn)矩）是其中一項很重要的參數(shù)。為了檢測扭矩參數(shù)...
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微諧振傳感器同頻干擾的建模與消除

硅微諧振式傳感器是基于MEMS(微機械電子系統(tǒng))工藝的基礎上發(fā)展起來的新型傳感器，具有體積小、重量輕、功耗低...
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光傳感器新走向：有源集成Vs無源分立

采用小型封裝的光傳感器多種多樣，而且價格合理。數(shù)十年來，無源器件一直活躍市場，隨著光敏電阻、光電二極管及光...
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光柵尺的安裝

光柵線位移測量傳感器是數(shù)控系統(tǒng)構(gòu)成全閉環(huán)節(jié)的重要元件之一，其安裝方式的選擇必須注意切屑，切削液及油液的濺...
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電容傳感器取代機械開關(guān)讓產(chǎn)品更便攜

電容傳感器滾輪在iPod等產(chǎn)品中獲得的成功，正在促使其它MP3生產(chǎn)商考慮使用電容傳感器來改善產(chǎn)品的用戶界面，并...
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電子皮帶秤測速傳感器的現(xiàn)場應用

一、概述從稱重原理可知，電子皮帶秤所測量物料的瞬時流量的大小取決于兩個參數(shù)，即瞬時流量等于稱重傳感器測...
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光電傳感器在玻璃機械上的應用

玻璃從原片到加工成客戶所要求的最終產(chǎn)品（以汽車風擋玻璃為例），大致分為如下幾道工藝：原片切割，磨邊，清洗，絲網(wǎng)印刷...
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智能傳感器接口的優(yōu)勢

采用智能化更高的傳感器接口能將16位的高性能CPU與16位ADC的處理功能相結(jié)合，從而大幅簡化設計工作，尤其是在集...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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