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            TPMS壓力傳感器介紹:NPP301與SM5420

            傳感器在土工測(cè)試中應(yīng)用及其選用原則

            硅壓力傳感器的疑難問(wèn)題

            一種有源濾波器中電流傳感器噪聲抑制電路設(shè)計(jì)

            使用稱重傳感器注意事項(xiàng)

            基于低壓驅(qū)動(dòng)RF MEMS開(kāi)關(guān)的MEMS開(kāi)關(guān)改進(jìn)

            低壓驅(qū)動(dòng)RF MEMS開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)與模擬--用于MEMS開(kāi)關(guān)缺陷的改進(jìn)

            MEMS壓力傳感器及其應(yīng)用

            解析Microvision單鏡面MEMS芯片技術(shù)

            一種新型MEMS微波功率傳感器的設(shè)計(jì)與模擬

            將MEMS傳感器用于各種創(chuàng)新的消費(fèi)類產(chǎn)品設(shè)計(jì)解析

            利用MEMS構(gòu)建多信道可調(diào)色散補(bǔ)償儀

            用可編程模擬電路實(shí)現(xiàn)MEMS陀螺儀測(cè)量系統(tǒng)

            利用MEMS麥克風(fēng)改善移動(dòng)設(shè)備聲學(xué)性能

            共209條 14/14 |‹ « 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14

            mems壓力傳感器介紹

            硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì),是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì):成本低,應(yīng)力小,性能高,可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種,一種是基于壓阻的變化,一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻,隨著壓力的變化,硅膜的應(yīng)力變化,相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化,鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為: [ 查看詳細(xì) ]

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