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mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術社區(qū)

I-Scan壓力量測系統(tǒng)在燃料電池組裝中應用

美國Tekscan公司生產的I-Scan壓力量測系統(tǒng)是燃料電池研發(fā)和設計的一個重要工具。在燃料電池里面,許多極板...
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I-Scan壓力分布分析系統(tǒng)在化學機械拋光（CMP）中的應用

化學機械拋光需要一個完美的平滑面，否則隨后的加工過程將會受到不利影響，給您的企業(yè)造成損失！美國Tekscan公司...
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融合傳感器數(shù)據(jù)的駕駛輔助系統(tǒng)（DAS）

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高精度的溫度傳感電路設計

在大多數(shù)的工業(yè)用測量控制監(jiān)測體系中，溫度測量傳感電路的設計都是一個重要的組成部分。它廣泛應用于很多特定...
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無線傳感器開發(fā)系統(tǒng)的設計及實現(xiàn)

設計并實現(xiàn)了一種低功耗、通用性好的無線傳感器節(jié)點，重點介紹了開發(fā)板的軟、硬件設計，充分考慮了節(jié)能和擴展性...
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MEMS壓力傳感器原理與應用

MEMS（微電子機械系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機...
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模擬傳感器的抗干擾措施

模擬傳感器的應用非常廣泛，不論是在工業(yè)、農業(yè)、國防建設，還是在日常生活、教育事業(yè)以及科學研究等領域，處處可...
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從光學傳感器到電容傳感器——指紋采集技術的演進

指紋傳感器（又稱指紋Sensor）是實現(xiàn)指紋自動采集的關鍵器件。最早的指紋識別技術是以光學傳感器為基礎的光學識...
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TI 秤重天平/橋傳感器解決方案

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熒光化學傳感器的制備及其在環(huán)境分析監(jiān)測中的應用

前言：隨著熒光分析技術和傳感技術的發(fā)展,熒光化學傳感器已經成為一種重要的連續(xù)分析測量裝置。它具有很高的...
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圖像傳感器

一、引言圖像傳感器是利用光電器件的光一電轉換功能，將其感光面上的光像轉換為與光像成相應比例關系的電信...
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適合水處理應用的傳感器

水處理應用對壓力和水位測量裝置具有極高的要求。對于此類應用，堡盟提供適用于高振動以及侵蝕性介質的堅固型...
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壓力傳感器的應用--電壓力鍋的工作原理

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消除回音

隨著網絡的普及，視頻聊天和語音聊天逐漸成為我們和朋友溝通、交流的重要手段。不過，當大家談興正濃的時候，如果...
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麥克風的定位

對于佩戴助聽器的人來說,聲音是從助聽器的麥克風收集來的.很明顯麥克風的位置決定了進入聲音的范圍,就和耳...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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