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            可編程超聲波物位計在田壩電站攔污柵上的應用

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            汽車傳感器發(fā)展綜述

            伺服式液位計在油水界面測量領域的應用

            傳感器在汽車行業(yè)的應用

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            發(fā)動機傳感器:置身“水深火熱”之中

            信息時代的傳感器技術(shù)

            多傳感器信息融合技術(shù)在提高孔板測量精度中的應用

            傳感器技術(shù)和產(chǎn)品發(fā)展的重點

            非接觸式傳感器在離散制造業(yè)的應用

            新一代汽車智能傳感器

            西門子雷達液位計在上海賽科聚苯乙烯裝置上的成功應用

            雷達物位計在高爐上的應用

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            mems壓力傳感器介紹

            硅直接鍵合技術(shù)廣泛應用于壓力傳感器和加速度計,是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢:成本低,應力小,性能高,可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種,一種是基于壓阻的變化,一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻,隨著壓力的變化,硅膜的應力變化,相應的壓阻發(fā)生變化,鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為: [ 查看詳細 ]

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