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mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術社區(qū)

現(xiàn)代汽車傳感技術的發(fā)展商機

傳感器是一種信號轉換裝置，其功用是檢測汽車(及發(fā)動機)不同狀態(tài)下的各種電量、物理量和化學量等參數(shù)，并將這些...
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利用差分霍爾器件實現(xiàn)齒輪速度測量

在汽車等應用環(huán)境惡劣的條件下實現(xiàn)旋轉體的速度測量具有一定挑戰(zhàn)性，需要在考慮輻射干擾、電磁干擾和傳導干擾...
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生物識別技術的基本概念和原理

要掌握一門學科，首先要做的是對其基本概念和基本原理有一個熟練的掌握，然后反復思考其內(nèi)涵和外延。而要對一個...
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光纖氫傳感器的研究進展

一、引言無論是為了預防氫的積累還是要利用氫的場合都需要對氫的含量進行測量和監(jiān)控，而安全、可靠且廉價的...
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發(fā)電廠測溫預警系統(tǒng)

本文分析了發(fā)電廠易引起火災的場所及發(fā)生原因，介紹了新型溫度探測器---測溫電纜的特性及應用，提出了發(fā)電廠測...
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光纖傳感器相位漂移及倍頻問題的解決方法

一、引言光纖傳感由于具有本質(zhì)安全、電絕緣性好、靈敏度高及便于連網(wǎng)等優(yōu)點，已在許多物理量的測量中得到應...
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鋼水成分傳感器及其應用進展

一、引言用計算機控制算法優(yōu)化工業(yè)過程需要實時的過程參數(shù)。一個工藝過程被優(yōu)化的程度取決于工藝過程信息...
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光纖傳感、光纖光柵、光纖光柵傳感

光纖傳感技術由于光纖不僅可以作為光波的傳輸媒質(zhì)，而且光波在光纖中的傳播時表征光波的特征參量（振幅、相位...
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磁敏傳感器國內(nèi)外發(fā)展應用狀況分析

磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個重要組成部分，隨著我國磁敏傳感器技術的發(fā)展，其產(chǎn)品種類和質(zhì)量將會得到進一步發(fā)...
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光纖光柵傳感系統(tǒng)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

自1978年，加拿大的Hill等人首次在摻鍺石英光纖中發(fā)現(xiàn)光敏現(xiàn)象并采用駐波法制造出世界上第一根光纖光柵和1989...
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對嵌入式智能傳感器的理論研究

一、引言傳感器技術是一項當今世界令人矚目的迅猛發(fā)展起來的高新技術之一，也是當代科學技術發(fā)展的一個重要...
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信號隔離器等相關問題解答

信號隔離器的工作原理及功能是什么？工作原理：首先將變送器或儀表的信號，通過半導體器件調(diào)制變換，然后通過光感...
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電容式觸摸傳感器的設計技巧

隨著混合信號技術的發(fā)展，可以利用基于噪聲門限和手指門限的反跳法，實現(xiàn)按鍵開關狀態(tài)之間的干凈利落的轉換，從而...
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航空發(fā)動機智能溫度傳感器的設計

引言航空發(fā)動機全權限數(shù)字式電子控制（FADEC）是現(xiàn)代戰(zhàn)機飛行/推進系統(tǒng)綜合控制的發(fā)展趨勢，憑借計算機強大而快...
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電渦流傳感器陣列測試技術

電渦流傳感器是一種基于電渦流效應的無損、非接觸式的傳感器，以其優(yōu)良的測試性能，在機械量的測量以及金屬材料...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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