目前，本土廠商在半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備研發(fā)制造上仍然遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國外企業(yè)，供應(yīng)的設(shè)備也主要集中在前后道工序中精度要求相對較低的設(shè)備品種中，包括拋光研磨機(jī)，外延爐，刻蝕機(jī)，倒角機(jī)，固晶機(jī)等。2008年，中國大陸境內(nèi)工廠提供的半導(dǎo)體制造設(shè)備共實(shí)現(xiàn)銷售額10.0億人民幣，其中89.6%的銷售是由本土廠商提供。西安捷盛，七星華創(chuàng)和中電四十八所三家廠商占據(jù)中國半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)市場31.2%的市場份額。

　　根據(jù)Frost & Sullivan研究顯示，中國本土半導(dǎo)體制造設(shè)備生產(chǎn)商的發(fā)展呈現(xiàn)兩種發(fā)展趨勢。

　　第一，由半導(dǎo)體制造設(shè)備轉(zhuǎn)向太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，典型代表包括中電四十八所和北方微電子。由于太陽能電池生產(chǎn)本身對設(shè)備精度要求要低于半導(dǎo)體生產(chǎn)，這就意味著設(shè)備研發(fā)的技術(shù)門檻較低，周期也會較短，便于設(shè)備制造商的進(jìn)入;另一方面，太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備行業(yè)目前仍處于有限競爭，高利潤的階段，再加上光伏產(chǎn)業(yè)近幾年受到政府的大力扶持而迅猛發(fā)展，這樣就不難解釋這些設(shè)備生產(chǎn)商向光伏產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)變。目前，中電四十八所已經(jīng)形成了一整套完備的關(guān)于硅基太陽電池生產(chǎn)線的系統(tǒng)方案，北方微電子也已經(jīng)完成了晶硅太陽能平板式PECVD的研發(fā)，其薄膜太陽能平板式PVD設(shè)備目前也在最后的研發(fā)階段。

　　第二，加大對更高技術(shù)要求的半導(dǎo)體制造設(shè)備的研發(fā)，典型代表包括上海微裝和格蘭達(dá)。政府對于電子信息領(lǐng)域的技術(shù)突破所提供的資金和政策支持調(diào)動了生產(chǎn)廠商的研發(fā)積極性，另外，高端制造設(shè)備所意味的高利潤同樣也是吸引企業(yè)投入巨資進(jìn)行關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)的動力。上海微裝主要從事用于光刻機(jī)及其它相關(guān)設(shè)備的研發(fā)制造，目前其仍然處于產(chǎn)品研發(fā)階段;格蘭達(dá)自主研發(fā)的全自動晶圓檢測機(jī)已于2008年實(shí)現(xiàn)上市銷售。

　　當(dāng)前，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于升級換代的時(shí)期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級的速度也決定了相關(guān)設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展;與此同時(shí)，中國政府出臺的電子信息產(chǎn)業(yè)振興規(guī)劃也為中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展帶來了新的希望。這樣看來，后危機(jī)時(shí)代的中國半導(dǎo)體及設(shè)備制造行業(yè)將無疑會迎來更大的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。