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            EEPW首頁 >> 主題列表 >> mems開關(guān)

            發(fā)動機(jī)燃燒過程監(jiān)測和氣缸蓋墊壓力傳感器

            TMP05/06型溫度傳感器及其應(yīng)用

            電容式液位變送器在合成高壓液位測控中的作用

            非接觸位移測量的直線位移傳感器

            光柵莫爾條紋技術(shù)的發(fā)展

            一種硬件細(xì)分方法的研究與應(yīng)用

            光纖傳感器的今日與發(fā)展

            一種新型懸浮陀螺式質(zhì)量流量計的研究

            傳感器技術(shù)在生產(chǎn)實(shí)踐中的應(yīng)用

            基于DSP的陀螺加速度計數(shù)字伺服回路研究

            氣體傳感器在氣體泄漏事故處置中的應(yīng)用

            智能自動化及其在儀器儀表中的應(yīng)用

            傳感器在設(shè)施農(nóng)業(yè)中的應(yīng)用

            加速傳感器ADXL150特性及其精度影響因素

            光柵傳感器在位移自動測量系統(tǒng)中的應(yīng)用

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            mems開關(guān)介紹

            MEMS開關(guān)就是MEMS技術(shù)的具體應(yīng)用。顧名思義,開關(guān)就是來控制電路通斷狀況的,高效、快速反應(yīng)、準(zhǔn)確、重復(fù)使用頻率、高可靠性是現(xiàn)代電路系統(tǒng)對開關(guān)的特殊要求。MEMS開關(guān)的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson,隨后經(jīng)過了二十幾年的發(fā)展,由于薄膜的柔軟和變形,MEMS開關(guān)始終沒有取得人們預(yù)期的成績。隨著通訊頻率的不斷增高,現(xiàn)有的半導(dǎo)體開關(guān)因不能滿足頻率的升高而失去開關(guān)能力。MEMS開關(guān)的 [ 查看詳細(xì) ]

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