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      阿斯麥ASML全新EUV光刻機(jī)將于2021年中期發(fā)貨

      • 14日訊,《科創(chuàng)板日報》記者從ASML獲悉,其公布了EUV路線圖上的新機(jī)型TWINSCANNXE:3600D的最終規(guī)格,這是30mJ/cm2的曝光速度達(dá)到每小時曝光160片晶圓,提高了18%的生產(chǎn)率,并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1納米,并計劃于2021年的中期開始發(fā)貨。
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      在EUV光刻技術(shù)上,日本公司壟斷了光刻膠的供應(yīng)

      • 雖然將會有更多用于EUV光刻的光刻膠制造商。但是目前這個市場是日本公司壟斷的。目前只有兩家芯片制造商掌握了使用EUV極紫外線輻射光刻的半導(dǎo)體光刻技術(shù),但是毫無疑問,這就是光刻技術(shù)的未來。與任何未來一樣,它為一些光刻材料市場開拓者提供了在新市場中建立自己的機(jī)會。尤其是目前由兩家日本公司生產(chǎn)使用EUV光刻機(jī)所使用的技術(shù)處理材料,而其中一家是著名的Fujifilm富士膠片公司。富士膠片控股公司和住友化學(xué)將在2021年開始為下一代芯片提供光刻材料,這可能有助于減小智能手機(jī)和其他設(shè)備的芯片尺寸,并使它們更加節(jié)能。這
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      斥資440億元采購EUV光刻機(jī)?臺積電:不評論傳聞

      • 9月30日訊,此前有媒體報道,由于先進(jìn)制程推進(jìn)順利和訂單量擴(kuò)大,臺積電將加大EUV光刻機(jī)的采購力度,預(yù)計到2021年底采購量為55臺左右。臺積電方面回復(fù)稱:公司不評論市場傳聞。據(jù)了解,一臺EUV光刻機(jī)售價近8億元,55臺EUV光刻機(jī)價值約440億元。相關(guān)閱讀:臺積電明年底前將累計采購55臺EUV光刻機(jī):花費(fèi)超440億元出處:快科技 作者:萬南芯片制程已經(jīng)推進(jìn)到了7nm以下,這其中最關(guān)鍵的核心設(shè)備就要數(shù)EUV光刻機(jī)了,目前全世界只有荷蘭ASML(阿斯麥)可以制造。來自Digitimes的報道稱,臺積電打算在
      • 關(guān)鍵字: EUV  光刻機(jī)  臺積電  

      華為+中科院攻關(guān)EUV光刻機(jī)?ASML華裔工程師:天方夜譚

      • 9月16日,中國科學(xué)院院長白春禮在國新辦發(fā)布會上介紹稱,“率先行動”計劃第二階段要把美國“卡脖子”的清單變成科研任務(wù)清單進(jìn)行布局,集中全院力量聚焦國家最關(guān)注的重大領(lǐng)域攻關(guān)。白春禮稱,從2021年到2030年未來的十年是“率先行動”計劃第二階段。對此,首先要進(jìn)行體制機(jī)制改革。他稱,目前已經(jīng)設(shè)立了創(chuàng)新研究院、卓越創(chuàng)新中心、大科學(xué)中心和特色所四類機(jī)構(gòu),目的是根據(jù)科研性質(zhì)不同進(jìn)行分類定位、分類管理、分類評價、分類資源配置?!斑@個工作還沒有完,只是進(jìn)行了一部分,所以第二階段我們爭取在2025年要把四類機(jī)構(gòu)全部做完,
      • 關(guān)鍵字: 華為  中科院  EUV  光刻機(jī)  ASML  

      10億元一臺EUV光刻機(jī)!芯片產(chǎn)能數(shù)量曝光:夠華為手機(jī)用嗎?

      • 相信大家都知道,在前幾天,ASML重磅官宣了一條大新聞,正式在中國寶島臺灣建設(shè)了第一家海外培訓(xùn)中心—亞洲培訓(xùn)中心,這家培訓(xùn)中心標(biāo)配了14名培訓(xùn)技師,一年大約可以培養(yǎng)超過360名EUV光刻機(jī)操作工程師,能夠讓芯片生產(chǎn)加工企業(yè)更好的掌握和使用EUV光刻機(jī),從而可以進(jìn)一步提高5nm/3nm芯片的良品率,其實ASML在臺灣建設(shè)這座亞洲培訓(xùn)中心,最大的目的就是為了直接幫助臺積電培養(yǎng)更多的光刻機(jī)操作工程師,因為在過去兩年時間里,ASML一共售賣了57臺EUV光刻機(jī)產(chǎn)品,其中臺積電就購得了30臺,占據(jù)著絕大部分的份額,
      • 關(guān)鍵字: 臺積電  5nm  EUV  

      臺積電:5nm EUV工藝已在量產(chǎn)、明年推出增強(qiáng)版

      • 24日,臺積電舉辦了第26屆技術(shù)研討會,并披露了旗下最新工藝制程情況。按照臺積電的說法,5nm工藝規(guī)劃了兩代,分別是N5和N5P。其中N5確定引入EUV(極紫外光刻)技術(shù),并且已經(jīng)在大規(guī)模量產(chǎn)之中。相較于N7,N5的功耗降低了30%、性能提升了15%,邏輯器件密度是之前的1.8倍。N5P作為改良版,仍在開發(fā)中,規(guī)劃2021年量產(chǎn),相較于第一代5nm,功耗進(jìn)一步降低10%、性能提升5%,據(jù)稱面向高性能計算平臺做了優(yōu)化。據(jù)手頭資料,臺積電的5nm有望應(yīng)用在蘋果A14芯片(包括Apple Silicon PC處
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      臺積電采購30臺EUV光刻機(jī)沖刺7/5nm,ASML就近設(shè)立培訓(xùn)中心

      • 臺積電在高端制程技術(shù)上沖鋒陷陣,已經(jīng)成為光刻機(jī)龍頭 ASML 在 EUV 機(jī)臺上的最大采購客戶,累計已經(jīng)購買了 30 臺 EUV 設(shè)備。日前,ASML 繼在韓國成立 EUV 技術(shù)培訓(xùn)中心后,也在臺積電先進(jìn)制程的重鎮(zhèn)臺灣臺南,成立 EUV 技術(shù)培訓(xùn)中心。一臺EUV系統(tǒng)需要50個工程師操作一臺造價逾一億歐元的精密 EUV 系統(tǒng),重量高達(dá) 180&nbs
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      Intel/臺積電/ASML齊捧EUV光刻:捍衛(wèi)摩爾定律

      • 日前,中國國際半導(dǎo)體技術(shù)大會(CSTIC)在上海開幕,為期19天,本次會議重點(diǎn)是探討先進(jìn)制造和封裝。其中,光刻機(jī)一哥ASML(阿斯麥)的研發(fā)副總裁Anthony Yen表示,EUV光刻工具是目前唯一能夠處理7nm和更先進(jìn)工藝的設(shè)備,EUV技術(shù)已經(jīng)被廣泛認(rèn)為是突破摩爾定律瓶頸的關(guān)鍵因素之一。Yen援引統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示,截至2019年第四季度,ASML當(dāng)年共售出53臺EUV NXE:3400系列EUV光刻機(jī),使用EUV機(jī)器制造的芯片產(chǎn)量已經(jīng)達(dá)到1000萬片。他說,EUV已經(jīng)成為制造7nm、5nm和3nm邏輯集成電
      • 關(guān)鍵字: Intel  臺積電  ASML  EUV  光刻  摩爾定律  

      華為、蘋果7/5nm需求大 臺積電狂加EUV訂單

      • 2020年因為全球經(jīng)濟(jì)的問題,本來電子行業(yè)會下滑,但是晶圓代工場合不降反升,臺積電Q1季度營收大漲了30%,牢牢坐穩(wěn)了全球晶圓代工一哥的位置。由于華為、蘋果等公司的7nm及5nm工藝需求大,臺積電目前正在瘋狂增加EUV產(chǎn)能。臺積電2018年量產(chǎn)了7nm工藝,不過第一代7nm沒有EUV工藝加持,2019年的7nm EUV工藝才由華為的麒麟990 5G處理器首發(fā),而今年的5nm工藝則會全面上馬EUV工藝。根據(jù)臺積電之前公布的數(shù)據(jù),7nm及7nm EUV工藝目前每月的產(chǎn)能達(dá)到了11萬片晶圓/月,而5nm工藝的月
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      三星新建5nm晶圓廠:先進(jìn)EUV技術(shù) 2021年投產(chǎn)

      • 隨著時間邁入2020年中,以臺積電和三星為代表的芯片半導(dǎo)體也從7nm逐步向5nm進(jìn)發(fā),實際上麒麟1020和蘋果A14芯片就是基于臺積電5nm工藝,表現(xiàn)相較7nm將會更上一層樓。很明顯在7nm時代,三星是落后于臺積電的,不過這家巨頭似乎想在5nm時代彎道超車,近日據(jù)媒體報道,三星宣布將于漢城南部的平澤市建造全新的5nm晶圓廠。該工廠是三星在韓國國內(nèi)的第六條晶圓代工產(chǎn)線,將應(yīng)用先進(jìn)的極紫外光微影(ExtremeUltravioletlithography,EUV)制程技術(shù),拿7nmEUV工藝對比,三星5nmE
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      EUV光刻機(jī)斷貨 臺積電5nm工藝搶三星頭彩:A14/麒麟1020首發(fā)

      • 臺積電上周發(fā)布了3月及Q1季度財報,營收同比大漲了42%,淡季不淡。不過接下來的日子半導(dǎo)體行業(yè)可能不太好過了,ASML的EUV光刻機(jī)已經(jīng)斷貨,要延期交付,好在臺積電今年已經(jīng)在5nm工藝上搶先三星了。根據(jù)ASML之前的報告,3月底他們下調(diào)了1季度營收預(yù)期到24-25億美元,差不多減少了1/4左右的營收,毛利率也下滑到了45-46%之間。此外,ASML的EUV光刻機(jī)也因為種種原因斷貨了,雖然訂單沒有取消,但是交付要延期了,三星、臺積電今年都不太容易快速擴(kuò)張EUV產(chǎn)能。不過臺積電在這次危機(jī)中更有優(yōu)勢地位,他們包
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      三星首次將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM生產(chǎn)

      • 據(jù)ZDnet報道,三星宣布,已成功將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM的生產(chǎn)中。
      • 關(guān)鍵字: 三星  EUV  DRAM  

      三星率先為DRAM芯片導(dǎo)入EUV:明年將用于DDR5/LPDDR5大規(guī)模量產(chǎn)

      • 當(dāng)前在芯片制造中最先進(jìn)的EUV(極紫外光刻)工藝被三星率先用到了DRAM內(nèi)存顆粒的生產(chǎn)中。這家韓國巨頭今日宣布,已經(jīng)出貨100萬第一代10nm EUV級(D1x)DDR4 DRAM模組,并完成全球客戶評估,這為今后高端PC、手機(jī)、企業(yè)級服務(wù)器等應(yīng)用領(lǐng)域開啟新大門。得益于EUV技術(shù),可以在精度更高的光刻中減少多次圖案化的重復(fù)步驟,并進(jìn)一步提升產(chǎn)能。三星表示,將從第四代10nm級(D1a)DRAM或高端級14nm級DRAM開始全面導(dǎo)入EUV,明年基于D1a大規(guī)模量產(chǎn)DDR5和LPDDR5內(nèi)存芯片,預(yù)計會使12
      • 關(guān)鍵字: 三星  DRAM  EUV  

      引入EUV技術(shù)的6nm,才是真正的6nm

      • 只有引入EUV技術(shù)的6nm才是真正的6nm,而這項技術(shù)也將伴隨未來可能的5nm、4nm、3nm、2nm、1nm一路
      • 關(guān)鍵字: EUV  6nm  光刻機(jī)  

      泛林集團(tuán)發(fā)布應(yīng)用于EUV光刻的技術(shù)突破

      • 近日,泛林集團(tuán)發(fā)布了一項用于EUV光刻圖形化的干膜光刻膠技術(shù)。泛林集團(tuán)研發(fā)的這項全新的干膜光刻膠技術(shù),結(jié)合了泛林集團(tuán)在沉積、刻蝕工藝上的領(lǐng)導(dǎo)地位及其與阿斯麥?(ASML) 和比利時微電子研究中心?(imec)?戰(zhàn)略合作的成果,它將有助于提高EUV光刻的分辨率、生產(chǎn)率和良率。泛林集團(tuán)的干膜光刻膠解決方案提供了顯著的EUV光敏性和分辨率優(yōu)勢,從而優(yōu)化了單次EUV光刻晶圓的總成本。由于領(lǐng)先的芯片制造商已開始將EUV光刻系統(tǒng)應(yīng)用于大規(guī)模量產(chǎn),進(jìn)一步提升生產(chǎn)率和分辨率將幫助他們以更合理
      • 關(guān)鍵字: EUV  光刻  
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