超純水制取系統(tǒng)是為了去除一次純水處理系統(tǒng)中殘留的微量雜質(zhì)而設(shè)置的，值得注意的是，超純水制取系統(tǒng)在去除水中各種雜質(zhì)的同時(shí)，如何保證去除設(shè)備因自身材質(zhì)而引起的污染應(yīng)引起人們的高度關(guān)注。也就是說，一個(gè)完整的超純水系統(tǒng)，不但要有合理的制水流程，而且還要對(duì)每個(gè)處理設(shè)備自身的微量溶出問題進(jìn)行研究。此外，超純水的輸送方法，配管、閥門材質(zhì)的選定也應(yīng)引起人們的高度重視。

　　超大規(guī)模集成電路清洗設(shè)備要求的水質(zhì)幾乎均為超純水，這些清洗設(shè)備用水點(diǎn)的排水幾乎全部可以回收，經(jīng)回收處理后的水一部分可以作為冷卻塔和廢氣洗滌塔的補(bǔ)水，另一部分可以與超純水制備預(yù)處理系統(tǒng)的出水一起進(jìn)入預(yù)處理水池，作為超純水制備的補(bǔ)充水。目前，在實(shí)際工程中，水的回收率可以達(dá)到70%。要使回收水系統(tǒng)達(dá)到良好的處理效果，除了需要確定合理的處理流程外，生產(chǎn)設(shè)備排水的分類收集也是非常重要的，這樣做，可以防止高濃度TOC和其他不純物質(zhì)進(jìn)入回收水系統(tǒng)。