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            IC制造潔凈標準趨嚴 廠房設計強調(diào)低能耗

            作者: 時間:2009-10-14 來源:中國電子報 收藏

              是危害生產(chǎn)工藝并導致成品率降低的分子態(tài)化學物質(zhì)。會在半導體制造的柵底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接觸成型、光刻等多個關鍵工藝上造成各種危害,影響產(chǎn)品質(zhì)量,是半導體制造面臨的越來越嚴峻的問題,也是生產(chǎn)環(huán)境控制中亟待解決的問題。可以預見,隨著半導體制造技術的發(fā)展,對的控制標準將越來越嚴格,而單一的采用化學過濾器去除AMC的控制方法有許多條件限制,并且會大幅提高運行成本。因此應該從設計選址、設備選型、改進工藝流程等多方面加以考慮。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/98892.htm

              另外,制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。關鍵設備必須安裝單獨的防振基礎。

              潔凈系統(tǒng)設計突出節(jié)能理念

              好的潔凈室設計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本最低,潔凈度安全性最高,因此潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高,因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)(比如潔凈隧道和微環(huán)境)是制造潔凈廠房的設計趨勢。

              MAU是潔凈系統(tǒng)運行成本最高的部分,因此在設計上可以考慮通過熱回收進行節(jié)能。夏季可以利用新風空調(diào)的預熱盤管將熱回收到再熱盤管,節(jié)省熱水用量;采用噴淋室加濕設計,可以減少熱損失,且可以穩(wěn)定而高效地去除新風中的AMC,延長化學過濾器壽命。在運行上要有效控制工藝排風量以降低新風用量,降低MAU送風溫度,減少加熱量和潔凈室內(nèi)冷負荷。

              集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè),而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上,因此節(jié)能安全的潔凈室設計和各種熱能回收設計將是未來的發(fā)展方向。

              隨著集成電路制造技術的不斷升級,主流大廠已經(jīng)進入了納米時代,集成電路制造潔凈廠房的設計建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升,為先進制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。


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            關鍵詞: 集成電路 ESD AMC

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