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      ASMI高k設(shè)備向臺灣代工廠出貨 TEL購買ASMI股份

      作者: 時(shí)間:2009-04-30 來源:SEMI 收藏

        ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。

      本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/93958.htm

        ASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設(shè)備,用于28nm節(jié)點(diǎn)柵介質(zhì)工藝的量產(chǎn)。

        業(yè)界猜測該代工廠是。正在開發(fā)28nm金屬柵工藝,但該公司拒絕對細(xì)節(jié)進(jìn)行評論。其競爭對手聯(lián)電也在開發(fā)28nm工藝。



      關(guān)鍵詞: 臺積電 高k

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