需求

表3-半導體晶圓藍圖

半導體晶圓檢測系統(tǒng)要求亞納米級的靜止誤差和納米級跟隨誤差。今天，大多數系統(tǒng)是為了處理直徑300mm 的晶圓。下一代晶圓的直徑將達到450mm。這要求有同樣或者更好的位置控制性能，由于尺寸和重量更大，我們需要更大的馬達和驅動器來保持和提高系統(tǒng)的吞吐量。這樣的系統(tǒng)要求驅動器具有線性驅動器和PWM驅動的優(yōu)點。NanoPWMTM就是這樣的驅動器。它很高效，可以實現高電壓操作，提供高電流。它很緊湊而且成本更低。

圖4和5介紹了NaonPWM的主要特點。

lowEM noise :低電磁噪聲
good performance：良好的性能
High efficiency：高效率
Compact size：結構緊湊
Very reliable：非?？煽?br />Affordable price：可接受的價位
Regular performance：一般性能
High EM noise ：高電磁噪聲
Complex design：設計復雜
Poor reliability ：可靠性較差
Low efficiency：效率低
Expensive：造價高

圖4-NanoPWM兼容了線性驅動器和PWM驅動器的優(yōu)點

圖5-相同功率的線性驅動器和PWM驅動器的尺寸對比

性能比較
測試系統(tǒng)包括一個無貼心直線馬達帶動的直線平臺，交叉滾珠軸承機械和基本分辨率為0.4mico-meter的magnascale激光模擬量SIN-COS編碼器。運動控制系統(tǒng)包括ACS MC4U控制模塊和三種不同的驅動器

• NanoPWM
• Standard PWM標準PWM驅動器
• Standalone linear drive單獨線性驅動器

在每個測試中，驅動器和算法都進行一定的調試使其達到最優(yōu)性能和相似的帶寬。

入表2中描述，驅動器具有相同的特性

Table 2 – 驅動器的主要性能指標

測試以下性能指標：
靜止抖動
低速跟隨誤差