作者: Maksim Apanasenko, Boaz Kramer, Zeev Kirshenboim.
ACS Motion Control

介紹
許多工業(yè)應(yīng)用, 半導(dǎo)體晶圓檢測測系統(tǒng), 有機(jī)發(fā)光二極管平板顯示器生產(chǎn)和檢測，,這些應(yīng)用要求極其高的運(yùn)動性能，在低速勻速運(yùn)動的納米級運(yùn)動中保持亞納米級的靜止抖動和跟隨誤差。目前線性伺服驅(qū)動已經(jīng)被應(yīng)用于滿足這些需求。這種類型的驅(qū)動器提供了驚人的性能，可以達(dá)到這些應(yīng)用需要的線性度。但是由于線性伺服驅(qū)動器效率低，熱損耗大，體積大、笨重。新一代450mm半導(dǎo)體比目前的300mm半導(dǎo)體大得多，而且這樣的系統(tǒng)需要驅(qū)動器具有更高的能力，更高的電壓和電流。這就要求線性驅(qū)動器體積非常大，而且能量很有限，因此限制了這個(gè)系統(tǒng)的性能和生產(chǎn)量，增加了系統(tǒng)成本，降低了系統(tǒng)可靠性。

NanoPWM是開關(guān)PWM驅(qū)動器的線性化，這種線性化基于一種獨(dú)特的專利技術(shù)。

在過去5年中ACS研發(fā)的PWMBoost可以滿足這樣的位置系統(tǒng)。NanoPWM驅(qū)動器提供更好的位置性能和跟隨性能，并且克服了線性驅(qū)動器的缺點(diǎn)。NanoPWM非常緊湊，有更高的效率和可靠性，可以提供更高的能量，電流和電源，而且更經(jīng)濟(jì)。

伺服驅(qū)動器的種類
兩種主要的伺服驅(qū)動器：線性驅(qū)動器和開關(guān)PWM驅(qū)動器。

圖1描繪了線性驅(qū)動器的原理框圖。這個(gè)驅(qū)動器像一個(gè)可變電阻一樣工作，根據(jù)電流需求和負(fù)載阻抗調(diào)節(jié)電流。供電電壓被分配在馬達(dá)和驅(qū)動器之前。當(dāng)馬達(dá)以低速運(yùn)行被要求提供大力矩時(shí)，電流就是高的，加在馬達(dá)上的電壓就是低的，加在驅(qū)動器上的電壓就是高的。此時(shí)驅(qū)動器的損耗是很高的。

圖1線性驅(qū)動器的原理圖描述

圖2描述了開關(guān)PWM驅(qū)動的原理圖框圖。驅(qū)動器作為通斷開關(guān)工作。馬達(dá)作為平均電流的綜合集成。平均電流是開關(guān)占空比的線性函數(shù)。任意給定時(shí)刻開關(guān)或者是斷開的（沒有電流流過開關(guān)）或者是導(dǎo)通的（有低電壓加在開關(guān)上）。因此開關(guān)損耗是很低的。

圖2—PWM驅(qū)動器的原理圖描述

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表1.各種類型驅(qū)動器的優(yōu)缺點(diǎn)總結(jié)

表1—各種驅(qū)動器的優(yōu)缺點(diǎn)