據(jù)媒體報(bào)道，3月5日，ASML發(fā)布2024年度報(bào)告，首席執(zhí)行官克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）表示，如果展望ASML的未來增長(zhǎng)，光刻技術(shù)無疑仍然是摩爾定律的主要驅(qū)動(dòng)力之一，相信這一點(diǎn)在未來許多年里依然成立。

與此同時(shí)，二維收縮（2D shrink）正變得越來越困難。這并不完全是由于光刻技術(shù)的局限性，而是因?yàn)槲覀儙缀踹_(dá)到了邏輯和存儲(chǔ)器客戶所使用的晶體管的極限。為了繼續(xù)在二維收縮方面取得進(jìn)展，需要在架構(gòu)和器件上進(jìn)行創(chuàng)新。這意味著需要進(jìn)行三維前道整合（3D front-end integration），而這將帶來增長(zhǎng)機(jī)會(huì)——因?yàn)?a class="contentlabel" href="http://www.biyoush.com/news/listbylabel/label/三維整合">三維整合技術(shù)依賴于鍵合（Bonding），而這又需要一體化光刻技術(shù)（holistic lithography）。克里斯托弗·福凱強(qiáng)調(diào)：“我認(rèn)為，三維整合將成為二維收縮日益重要的補(bǔ)充技術(shù)或技術(shù)組合?！?/p>