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ASML:3D整合將成為2D收縮日益重要的補(bǔ)充技術(shù)
- 據(jù)媒體報(bào)道,3月5日,ASML發(fā)布2024年度報(bào)告,首席執(zhí)行官克里斯托弗·福凱(Christophe Fouquet)表示,如果展望ASML的未來增長,光刻技術(shù)無疑仍然是摩爾定律的主要驅(qū)動(dòng)力之一,相信這一點(diǎn)在未來許多年里依然成立。與此同時(shí),二維收縮(2D shrink)正變得越來越困難。這并不完全是由于光刻技術(shù)的局限性,而是因?yàn)槲覀儙缀踹_(dá)到了邏輯和存儲(chǔ)器客戶所使用的晶體管的極限。為了繼續(xù)在二維收縮方面取得進(jìn)展,需要在架構(gòu)和器件上進(jìn)行創(chuàng)新。這意味著需要進(jìn)行三維前道整合(3D front-end integr
- 關(guān)鍵字: ASML 2D shrink 光刻技術(shù) 三維整合
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