盡管美國(guó)CHIPS項(xiàng)目辦公室此前已宣布，將關(guān)閉對(duì)半導(dǎo)體工廠(chǎng)或晶圓廠(chǎng)的聯(lián)邦資助機(jī)會(huì)，但對(duì)半導(dǎo)體其他細(xì)分領(lǐng)域廠(chǎng)商的資助依然持續(xù)。

當(dāng)?shù)貢r(shí)間6月26日，半導(dǎo)體材料廠(chǎng)商Entegris宣布，根據(jù)《芯片與科學(xué)法案》而獲得美國(guó)政府7500萬(wàn)美元的直接補(bǔ)助。最新消息是，美國(guó)政府近日又資助了一家MEMS代工廠(chǎng)商。

當(dāng)?shù)貢r(shí)間7月1日，美國(guó)商務(wù)部宣布與MEMS代工廠(chǎng)Rogue Valley Microdevices（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“RVM”）達(dá)成初步條款，支持其建設(shè)新晶圓制造廠(chǎng)。

據(jù)悉，美國(guó)商務(wù)部已與RVM簽署了一份不具約束力的初步條款備忘錄 (PMT)，后者將根據(jù)《芯片與科學(xué)法案》獲得670萬(wàn)美元的直接補(bǔ)助，而這也是首家根據(jù)《芯片與科學(xué)法案》而獲得補(bǔ)助的MEMS代工廠(chǎng)。

資料顯示，RVM是美國(guó)僅有的幾家純MEMS代工廠(chǎng)之一，專(zhuān)門(mén)提供對(duì)國(guó)防工業(yè)基礎(chǔ)和生物醫(yī)學(xué)行業(yè)至關(guān)重要的高混合、小批量晶圓和MEMS代工服務(wù)。

據(jù)美國(guó)商務(wù)部介紹，該資金將用于支持RVM在佛羅里達(dá)州棕櫚灣建設(shè)純微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 和傳感器代工廠(chǎng)，預(yù)計(jì)將使RVM的制造能力增加近三倍。

2023年6月，RVM宣布收購(gòu)位于佛羅里達(dá)州棕櫚灣Commerce Drive 2301號(hào)的一棟建筑面積50000平方英尺的商業(yè)建筑，并計(jì)劃將其建設(shè)成為第二座MEMS晶圓制造廠(chǎng)。該晶圓制造廠(chǎng)將用于制造MEMS和傳感器。據(jù)悉，RVM在佛羅里達(dá)州棕櫚灣工廠(chǎng)最終完工時(shí)間為2025年中期，首批晶圓預(yù)計(jì)將于2025年初發(fā)貨。

RVM創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官Jessica Gomez表示，將把工廠(chǎng)從俄勒岡州的西海岸工廠(chǎng)擴(kuò)展到佛羅里達(dá)州太空海岸的新工廠(chǎng)。“這里將很快成為業(yè)內(nèi)首家提供300毫米產(chǎn)能MEMS純代工廠(chǎng)”。