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            微波多層板反鉆孔之金屬化孔互連

            作者: 時(shí)間:2011-07-12 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
            3.2.2.2 反面反(8-8-1)

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/191101.htm

              位置1(左上部)

            終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
            內(nèi)層銅箔厚度241228130.0325
            介質(zhì)層厚度228461820.455
            深度228421860.465

              位置2(左下部)

            終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
            內(nèi)層銅箔厚度299284150.0375
            介質(zhì)層厚度2841021820.455
            深度300942060.515

              位置3(右上部)

            終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
            內(nèi)層銅箔厚度271258130.0325
            介質(zhì)層厚度258781800.45
            反鉆孔深度264731910.4775

              位置4(右下部)

            終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
            內(nèi)層銅箔厚度275260150.0375
            介質(zhì)層厚度260821780.445
            反鉆孔深度275752000.5

              位置5(中心部)

            終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
            內(nèi)層銅箔厚度274260140.035
            介質(zhì)層厚度260851750.4375
            反鉆孔深度248791690.4225

              4 討論

              4.1 反鉆孔深度一致性

              4.1.1 單面反鉆孔(正面8-1-1)

            位置
            反鉆孔深度0.48
            剛好全鉆掉內(nèi)層銅
            0.4925
            剛好全鉆掉內(nèi)層銅
            0.48
            鉆掉內(nèi)層銅一半略少
            0.47
            剛好鉆至內(nèi)層銅
            0.485
            鉆掉內(nèi)層銅一半

              4.1.2 兩面反鉆孔(正面8-1-1 、反面8-8-1)

              4.1.2.1 正面反鉆孔(8-1-1)

            位置
            反鉆孔深度0.455
            鉆掉內(nèi)層銅一半
            0.475
            剛好全鉆掉內(nèi)層銅
            0.435
            差內(nèi)層銅厚至內(nèi)層銅
            0.4775
            稍鉆掉一點(diǎn)內(nèi)層銅

            0.5275
            全掉鉆內(nèi)層銅還過(guò)一些

              4.1.2.2 反面反鉆孔(8-8-1)

            位置
            反鉆孔深度0.465
            剛好鉆至內(nèi)層銅
            0.4775
            鉆掉內(nèi)層銅一小半
            0.4225
            差內(nèi)層銅厚至內(nèi)層銅
            0.515
            剛好全鉆掉內(nèi)層銅

            0.5
            剛好全鉆掉內(nèi)層銅



            關(guān)鍵詞: 多層板 鉆孔 金屬 互連

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