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            EEPW首頁 > 工控自動化 > 設計應用 > MEMS和信號調理實現(xiàn)擴散硅壓力傳感器

            MEMS和信號調理實現(xiàn)擴散硅壓力傳感器

            作者: 時間:2011-09-13 來源:網(wǎng)絡 收藏
            2的倍號智能設計

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/161497.htm

              如圖2輸出電壓Vo=VB△R/R(R1=R2=R3=R4,△R1=△R2=△R3=△R4),在理想狀態(tài)下其輸出是一個線性變化值。但是單晶硅材料的屬于半導體傳感器其受溫度的影響比較大。這使得傳感器在環(huán)境溫度變化時輸出呈現(xiàn)變化,影響讀出精度。對圖2的電橋加入溫度對電橋的影響得出下式:

              

              則

              

              理想狀態(tài)下若:

              

              但是在汽車應用環(huán)境中溫度的影響很大,所以必需采用補償技術。圖5為一組實測得的未補償過的傳感器的寬溫度范圍溫度曲線圖。顯而易見,在汽車常用的工作溫區(qū),溫度引入的讀出誤差達到了10%左右,這顯然是不允許的。傳統(tǒng)的補償方法是在橋臂上串并聯(lián)電阻法補償,為提升工作效率采用激光修調預先制作在陶瓷基板上的厚膜電阻網(wǎng)絡的辦法來。但是此法有很多的缺點和局限性,并且寬溫度區(qū)的補償后精度也僅為2%~3%,達不到汽車測壓的要求。

              

            圖5 寬溫度范圍下壓力信號輸出曲線

              圖5 寬溫度范圍下輸出曲線

              通過采用數(shù)字化的信號處理將傳感器的微弱信號轉化為標準電壓信號,并且植入模型算法將輸出的標準信號補償?shù)揭欢ǖ木确秶鷥?,是當代最新的傳感器信?a class="contentlabel" href="http://www.biyoush.com/news/listbylabel/label/調理">調理技術。

              信號處理鏈路框圖,圖6所示。

              

            圖6信號處理鏈路框圖

              圖6信號處理鏈路框圖

              在溫度傳感器的輔助作用下通過信號轉換開關分時讀取與溫度的數(shù)值,通過可編程增益放大器將微弱信號放大,再經(jīng)過ADC量化傳感器的信號進入數(shù)字處理器計算當前溫度和壓力下的補償后壓力輸出給數(shù)模轉換DAC輸出模擬信號。而溫度補償則可以通過通訊接口將參數(shù)寫入EEPROM供數(shù)字處理器計算時調用。如此多的功能部件均可集成制作在一塊單一芯片上,使得ASIC電路很容易和技術制作的壓力敏感芯片封裝在一個小巧的殼體中。



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