(5)位移傳感器懸臂梁長(zhǎng)20cm，光纖光柵距離懸臂梁自由端距離為10cm；

(6)位移傳感器懸臂梁長(zhǎng)20cm，光纖光柵距離懸臂梁自由端距離為15cm；

通過(guò)對(duì)實(shí)驗(yàn)得到的定標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理與總結(jié)，得到本方案位移傳感器的傳遞函數(shù)及其線性范圍如下表所示：

從表中可以看出，此位移傳感器的線性區(qū)間最大為16mm，線性相關(guān)系數(shù)最好可達(dá)到0．9995；在懸臂梁長(zhǎng)度一定時(shí)，光纖光柵越遠(yuǎn)離懸臂梁自由端，其靈敏度越高；當(dāng)光纖光柵距離懸臂梁自由端的距離一定時(shí)，懸臂梁越長(zhǎng)，其靈敏度越低。

4 結(jié)語(yǔ)
本傳感器方案結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、線性度好、抗外界干擾能力強(qiáng)。最大線性區(qū)間為16mm，線性相關(guān)系數(shù)最好可達(dá)到0．9995。但光纖光柵位移傳感器的靈敏度與線性度不能夠同時(shí)達(dá)到最好，使用時(shí)可以根據(jù)實(shí)際需要兼顧考慮，此方案和實(shí)驗(yàn)結(jié)果有很好的實(shí)用性與使用前景。