珠海:力爭打造全國規(guī)模最大的光刻膠產(chǎn)業(yè)集群
為推動珠海電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展和電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)園的高標準建設(shè),近日珠海市工業(yè)和信息化局發(fā)布了《珠海市電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)發(fā)展三年行動方案(2025—2027年)(征求意見稿)》(以下簡稱“《行動方案意見稿》”)。
《行動方案意見稿》提到,力爭到2027年,培育50家以上新材料和電子化學(xué)品規(guī)上工業(yè)企業(yè),電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破500億元,珠海經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)化工園區(qū)產(chǎn)業(yè)集群規(guī)模達到1500億元,成為全國重要的高端電子化學(xué)品研發(fā)、中試、生產(chǎn)基地之一。
珠海將致力于發(fā)展我國電子化學(xué)品“卡脖子”技術(shù)以及進口替代產(chǎn)品,支持引育一批掌握新工藝、新技術(shù)的團隊或中小型科技企業(yè),推動產(chǎn)業(yè)鏈條向高附加值領(lǐng)域攀升。未來將重點發(fā)展半導(dǎo)體集成電路及分立器件用電子化學(xué)品、印制線路板用電子化學(xué)品、新型顯示用電子化學(xué)品、新能源用電子化學(xué)品等。
其中,在發(fā)展半導(dǎo)體集成電路及分立器件用電子化學(xué)品領(lǐng)域,珠海將重點發(fā)展8英寸、12英寸硅片,碳化硅、氮化鎵、磷化銦等新一代化合物半導(dǎo)體襯底材料及外延片;前瞻布局氧化鎵、銻化鎵、銻化銦等第四代半導(dǎo)體材料;勻膠鉻版光掩模版,KrF、ArF移項光掩模版,前瞻布局深紫外光(DUV)掩膜版;同時聚焦目前國產(chǎn)化率較低、市場需求較大的高端KrF、ArF深紫外線(DUV)光刻膠,力爭打造全國規(guī)模最大、技術(shù)最先進的光刻膠產(chǎn)業(yè)集群。
此外,珠海還將緊盯“超摩爾時代”技術(shù)進步趨勢,聚焦2.5D/3D集成與封裝、芯粒技術(shù)(Chiplet)、異質(zhì)集成先進封裝等先進封裝工藝配套需求,重點發(fā)展透明脂環(huán)族環(huán)氧樹脂、有機硅或有機硅改性樹脂、高純超凈BT樹脂、ABF樹脂(味之素堆積膜)、聚苯硫醚、光敏聚酰亞胺(PSPI)等有機封裝材料;氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁等無機高性能陶瓷封裝材料;晶圓載板、底部填充材料、電鍍焊球、印刷涂料等其他先進封裝材料。
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