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            博客專欄

            EEPW首頁(yè) > 博客 > 突發(fā)!ASML:部分DUV光刻機(jī)出口許可被撤銷!

            突發(fā)!ASML:部分DUV光刻機(jī)出口許可被撤銷!

            發(fā)布人:旺材芯片 時(shí)間:2024-01-03 來(lái)源:工程師 發(fā)布文章

            1月2日消息,據(jù)ASML官網(wǎng)最新聲明,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系統(tǒng)的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷,影響中國(guó)大陸部分客戶!


            圖片

            美國(guó)去年10月17日公布的出口管制新規(guī),對(duì)用于一些先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)施的某些次關(guān)鍵DUV浸沒(méi)光刻系統(tǒng)施加了限制。


            按照ASML的說(shuō)法,2023年基本交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單(至于2024年是不是可以繼續(xù),ASML之前就表示不能確定。)。


            事實(shí)上,2023年ASML一直都在向中國(guó)客戶供應(yīng)光刻機(jī),其中就包含了NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品,且基本交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單。至于先進(jìn)的7nm、14nm等先進(jìn)的EUV光刻機(jī),ASML依然不能給中國(guó)客戶出售。


            據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息,該公司目前在售的主流浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。


            ASML預(yù)計(jì),目前撤銷出口許可證或最新的美國(guó)出口管制限制不會(huì)對(duì)2023年財(cái)務(wù)前景產(chǎn)生重大影響。ASML還稱,在最近與美國(guó)政府的討論中, ASML進(jìn)一步澄清了美國(guó)出口管制法規(guī)的范圍和影響。

            2023年9月1日,ASML在另一份聲明中稱,其已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)的出口許可證申請(qǐng),荷蘭政府也已頒發(fā)了截至9月1日所需的許可證,允許該公司2023年繼續(xù)發(fā)運(yùn)相關(guān)光刻系統(tǒng)。


            在上述聲明中,該公司表示:“在新的出口管制條例下,今年(指2023年)年底前ASML仍能履行已簽訂的合同,發(fā)運(yùn)這些光刻設(shè)備。客戶也已知悉出口管制條例所帶來(lái)的限制,即自2024年1月1日起,ASML將基本不會(huì)獲得向中國(guó)客戶發(fā)運(yùn)這些設(shè)備的出口許可證。


            來(lái)源:半導(dǎo)體材料與工藝


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            關(guān)鍵詞: DUV光刻機(jī)

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