8英寸碳化硅襯底片已實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，量產(chǎn)晶片的核心位錯(cuò)達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。

晶盛機(jī)電表示，自布局碳化硅襯底業(yè)務(wù)以來，公司通過自主開發(fā)的設(shè)備、熱場和工藝技術(shù)，不斷延伸產(chǎn)品系列。經(jīng)過研發(fā)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)攻關(guān)，公司于2020年建立6-8英寸碳化硅晶體生長及切磨拋產(chǎn)線，于2022年成功研發(fā)出8英寸N型碳化硅晶體。2023年11月，公司正式進(jìn)入了碳化硅襯底片項(xiàng)目的量產(chǎn)階段。目前公司碳化硅襯底片已通過多家下游企業(yè)驗(yàn)證，并實(shí)現(xiàn)批量銷售。

同時(shí)，晶盛機(jī)電相繼推出了6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備、8英寸碳化硅外延設(shè)備。據(jù)晶盛機(jī)電披露，其中6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備在外延產(chǎn)能、運(yùn)營成本等方面已取得國際領(lǐng)先優(yōu)勢，與單片設(shè)備相比，雙片設(shè)備單臺(tái)產(chǎn)能增加70%，單片運(yùn)營成本降幅可達(dá)30%以上，助力客戶創(chuàng)造極大價(jià)值。8英寸碳化硅外延設(shè)備可兼容6、8寸碳化硅外延生產(chǎn)，解決了腔體設(shè)計(jì)中的溫場均勻性、流場均勻性等控制難題，外延的厚度均勻性1.5%以內(nèi)、摻雜均勻性4%以內(nèi)，達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。

此外，在營收預(yù)期方面，晶盛機(jī)電稱，2023年度公司繼續(xù)強(qiáng)化裝備領(lǐng)域核心競爭力，同時(shí)積極推動(dòng)新材料業(yè)務(wù)快速發(fā)展，希望在管理層和全體員工共同努力下，能夠?qū)崿F(xiàn)全年整體營業(yè)收入同比增長60%以上。

來源：艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)