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      博客專欄

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      我國成功研制新型光學(xué)晶體,可滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域重大需求

      發(fā)布人:旺材芯片 時(shí)間:2023-08-10 來源:工程師 發(fā)布文章

      源:央視網(wǎng)


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      激光是二十世紀(jì)人類最重大的發(fā)明之一。最近,中國科學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)成功研制出一種新型非線性光學(xué)晶體全波段相位匹配晶體,實(shí)現(xiàn)了整個(gè)透光范圍內(nèi)的激光輸出,它可以滿足我國半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。


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      非線性光學(xué)晶體是獲得不同波長激光的物質(zhì)條件和源頭。在晶體中實(shí)現(xiàn)應(yīng)用波段相位匹配被普遍認(rèn)為是重要的技術(shù)挑戰(zhàn)之一,決定最終激光輸出的功率和效率。其中,利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的彌補(bǔ)相位失配的有效途徑。


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      中科院新疆理化所晶體材料研究中心潘世烈科研團(tuán)隊(duì),在提出非線性光學(xué)晶理想狀態(tài)假設(shè)的理論基礎(chǔ)上,經(jīng)過不斷實(shí)踐,成功創(chuàng)制出新非線性光學(xué)晶體,即全波段相位匹配晶體。該研究揭示了全波段相位匹配晶體的物理機(jī)制,并指導(dǎo)獲得一例非線性光學(xué)晶體(GFB)。它首次通過全波段雙折射相位匹配技術(shù),對晶體材料透過范圍內(nèi)任意波長的相位匹配,實(shí)現(xiàn)了深紫外激光輸出,可以滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。


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      中科院科研團(tuán)隊(duì)介紹,該類晶體可采用水溶液法生長出高質(zhì)量、超大尺寸晶體,使其有望成為應(yīng)用于我國大科學(xué)裝置的新晶體材料。此項(xiàng)成果已于近日在國際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》在線發(fā)表。


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      關(guān)鍵詞: 光學(xué)晶體

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