微差壓傳感器是一種測(cè)量兩個(gè)壓力之間微小差異的傳感器。它通常由兩個(gè)壓力傳感器和一個(gè)差分放大器組成。這種傳感器可以測(cè)量流量、液位、氣體壓力、空氣速度等參數(shù)，廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程控制、醫(yī)療設(shè)備、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。

微差壓傳感器的工作原理是將待測(cè)壓力和參考?jí)毫Ψ謩e作用于兩個(gè)感應(yīng)元件（壓力傳感器）中，從而得到它們之間的微小差壓信號(hào)。這個(gè)微小的差壓信號(hào)經(jīng)過差分放大器的放大，再經(jīng)過模數(shù)轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)換，最終通過微處理器進(jìn)行數(shù)字化處理和顯示，從而獲得待測(cè)壓力的值。

微差壓傳感器具有高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性的特點(diǎn)，可以在惡劣的工作環(huán)境下正常工作。它的使用可以提高工業(yè)生產(chǎn)的效率和安全性，減少成本和資源的浪費(fèi)。

圖1：微壓傳感器-人體血壓測(cè)量

微差壓傳感器在使用過程中需要具備高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性的特點(diǎn)，而DPC陶瓷線路板能夠滿足這些要求，因此被廣泛應(yīng)用于微差壓傳感器的制造中。

微壓傳感器使用DPC陶瓷線路板具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1. 低溫膨脹系數(shù)：DPC陶瓷線路板的溫度穩(wěn)定性非常好，其溫度膨脹系數(shù)接近于硅，比普通的玻璃纖維板或FR4板低得多，因此可以保證傳感器在高溫或低溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和精度。

2. 優(yōu)異的機(jī)械性能：DPC陶瓷線路板具有很高的硬度和強(qiáng)度，能夠承受高壓和強(qiáng)震動(dòng)，避免傳感器因機(jī)械應(yīng)力而失靈。在微差壓（1-10kpa）的傳感器中不干擾芯片本身對(duì)壓力的感測(cè)，所以選用陶瓷基材板厚普遍較厚，常規(guī)選用1mm以上厚度的陶瓷基板。

3. 優(yōu)異的電性能：DPC陶瓷線路板具有低介電常和和低介電損耗，可以減少信號(hào)的噪聲和失真，提高傳感器的精度和穩(wěn)定性。

4.DPC工藝金屬銅線結(jié)合力強(qiáng)：在車規(guī)級(jí)的產(chǎn)品上使用DPC工藝，能夠提供更高的可靠性。這是因?yàn)镈PC工藝能夠確保金屬銅線和陶瓷基板之間的牢固結(jié)合，從而防止松動(dòng)和斷裂等問題。此外，DPC工藝還可以提高產(chǎn)品的耐溫性能和抗震性能，以確保在惡劣的工作環(huán)境下的可靠性。

總的來說，DPC陶瓷線路板能夠提供優(yōu)異的機(jī)械性能和電性能，保證傳感器在使用過程中的穩(wěn)定性、精度和可靠性，因此被廣泛應(yīng)用于微差壓傳感器的制造中。

圖2：氮化鋁陶瓷基板-Mems微壓傳感器

微壓差傳感器具有高一致性的特點(diǎn)，在使用中，其Offset（偏移）和Span（量程）集中度較高，這意味著傳感器在零點(diǎn)和滿量程處所測(cè)量值的分布范圍比較小，能夠保證測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。具體而言，Offset集中度指傳感器在零點(diǎn)處測(cè)量值的分布范圍，Span集中度指傳感器在滿量程處測(cè)量值的分布范圍。

此外，微壓差傳感器采用GSF/DIP封裝，這種封裝具有良好的封裝性能和保護(hù)性能，能夠有效地防止外界環(huán)境對(duì)傳感器的影響。

綜上所述，微壓差傳感器具有高一致性、良好的封裝和保護(hù)性能，適用于-40℃至85℃的環(huán)境溫度場景，能夠提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量結(jié)果，廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用在睡眠呼吸暫停呼吸機(jī)、空調(diào)風(fēng)壓檢測(cè)、工業(yè)氣流測(cè)量、保健醫(yī)療器材、制氧機(jī)、呼吸機(jī)等產(chǎn)品。