來(lái)源：自由財(cái)經(jīng)

當(dāng)今世界前三光刻機(jī)制造商依序排名為，荷蘭阿斯麥（ASML）以及日本的尼康（Nikon）、佳能（Canon），尼康與佳能是百年相機(jī)老牌不必多說(shuō)，但是阿斯麥?zhǔn)鞘裁磥?lái)頭？這個(gè)1984年才成立，年齡只有39歲的小伙，是如何反超2個(gè)老前輩，成為眾星捧月的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商？

臺(tái)積電浸潤(rùn)式微影技術(shù) 只有ASML相信

從上世紀(jì)80年代截至本世紀(jì)初，全球光刻機(jī)企業(yè)屈指可數(shù)，當(dāng)時(shí)的霸主還是美國(guó)GCA（1988年被收購(gòu)）以及尼康和佳能，阿斯麥在行業(yè)內(nèi)算是無(wú)名小卒，不過(guò)這樣的小卒卻非常幸運(yùn)的碰上2位貴人。

第1位貴人：臺(tái)積電。在2004年以前，光刻機(jī)技術(shù)主要還是以干式曝光為主，這時(shí)卻殺出個(gè)林本堅(jiān)，林本堅(jiān)時(shí)任臺(tái)積電研發(fā)副總經(jīng)理，2002年發(fā)明出浸潤(rùn)式微影技術(shù)，這個(gè)不被尼康、佳能看好的新技術(shù)，當(dāng)時(shí)受到了阿斯麥的重用，他們一拍即合，僅用1年時(shí)間，就在2004年拼全力趕出第1臺(tái)樣機(jī)，并先后奪下IBM和臺(tái)積電等大客戶的訂單。

可以這么說(shuō)，阿斯麥的成功靠的不是自己，而是林本堅(jiān)，他的193納米浸潤(rùn)式微影技術(shù)能顯著提升蝕刻精度，使其成為當(dāng)時(shí)高端光刻機(jī)的主流技術(shù)方案，一舉壟斷市場(chǎng)。當(dāng)然，臺(tái)積電之后在技術(shù)、人才、資金方面持續(xù)加碼，也促進(jìn)了阿斯麥在市場(chǎng)上所向披靡。

第2位貴人：英特爾（Intel）。1997年，為了嘗試突破193納米，英特爾早就聯(lián)合政府、企業(yè)成立EUV LLC前沿技術(shù)組織，成員除了英特爾以外，還有美國(guó)能源部、摩托羅拉（Motorola）、超微半導(dǎo)體（AMD）、IBM，最后1個(gè)位置英特爾本想拉尼康和阿斯麥入伙，問(wèn)題是，這2間公司1個(gè)來(lái)自日本、1個(gè)來(lái)自荷蘭，但極紫外光（EUV）被美國(guó)視為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，所以不希望外企參與其中。最后，阿斯麥與美國(guó)達(dá)成協(xié)議，正式成為組織一員。

美國(guó)對(duì)日本半導(dǎo)體存戒心 

阿斯麥在加入起初就遞交投名狀，同意在美國(guó)建立1所工廠和1個(gè)研發(fā)中心，以此滿足所有美國(guó)本土的產(chǎn)能需求，還保證55%的零組件均從美國(guó)供應(yīng)商處采購(gòu)，并接受定期審查。

眾所周知的是，日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在80年代一度強(qiáng)大到可以吊打美國(guó)，逼得美國(guó)對(duì)日本發(fā)動(dòng)全面貿(mào)易戰(zhàn)才將日本的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)打下去，所以比起荷蘭，美國(guó)對(duì)日本存有更大戒心，因此才放棄尼康。

因?yàn)?位貴人的加持，阿斯麥終于在2015年將極紫外光工藝處于可量產(chǎn)狀態(tài)，不僅不愁沒(méi)有地方賣(mài)，每家半導(dǎo)體制造商還都搶著要。隨后5年，尼康痛失50%以上的光刻機(jī)市占率。

尼康閉門(mén)造車(chē) 錯(cuò)失商機(jī) 

加入EUV LLC后的阿斯麥覺(jué)得，一旦研發(fā)出極紫外光技術(shù)，可能會(huì)被美國(guó)提防，于是決定讓出公司股份，讓英特爾、臺(tái)積電、三星（Samsung）等半導(dǎo)體大廠成為股東，這個(gè)決定證實(shí)阿斯麥不僅消除美國(guó)顧慮、贏得盟友，還因合作得到許多技術(shù)支援。

當(dāng)對(duì)手靠產(chǎn)業(yè)鏈一起發(fā)力，尼康還在自己搞定。舉例而言，三星與臺(tái)積電生產(chǎn)的是DRAM、ASIC等通用性產(chǎn)品，追求產(chǎn)品通用性有助于生產(chǎn)線規(guī)格統(tǒng)一，結(jié)果尼康從投影系統(tǒng)、控制臺(tái)、對(duì)位系統(tǒng)、軟體甚至機(jī)身全是自制，只有照明系統(tǒng)采用德國(guó)蔡司（Zeiss）。

其結(jié)果就是尼康對(duì)各構(gòu)成的知識(shí)非常豐富，且有很強(qiáng)的調(diào)整與客戶應(yīng)對(duì)能力，但各構(gòu)成系統(tǒng)的最優(yōu)化方面幾乎沒(méi)有積累。阿斯麥則與之相反，設(shè)備搬入顧客工廠后還能微調(diào)模組，不斷積累下臺(tái)光刻機(jī)最佳模組化設(shè)計(jì)的經(jīng)驗(yàn)，與其他同業(yè)相比，阿斯麥完全是在做全球化光刻機(jī)。

一步踏錯(cuò)步步錯(cuò)

在那個(gè)還在想要把193納米光波再磨細(xì)的年代，半導(dǎo)體大隊(duì)分出2派人馬，1派是EUV LLC，另1派則以尼康為首，尼康既因企業(yè)本身，還有顧客面原因，仍主張采用前代技術(shù)的基礎(chǔ)上，使用157納米的F2雷射。

臺(tái)積電林本堅(jiān)的技術(shù)他們不是不知道，只是若要改用全新工藝，前期投入的研發(fā)、設(shè)備等同于推倒重來(lái)，簡(jiǎn)直是革自己的命，若真要采用，談何容易？不說(shuō)日企「工匠精神」的心態(tài)問(wèn)題，只說(shuō)現(xiàn)實(shí)層面，未加入EUV LLC、未即時(shí)采用浸潤(rùn)技術(shù)，尼康與佳能就注定讓位半導(dǎo)體設(shè)備商冠軍寶座。

在阿斯麥推出首臺(tái)極紫外光刻機(jī)后，雖然尼康很快也亮出了干式微影157納米技術(shù)的成品，但畢竟被阿斯麥搶了頭陣，何況波長(zhǎng)還略落后于對(duì)手，等到1年后，尼康完成對(duì)浸潤(rùn)微影的追趕，也無(wú)法再追上阿斯麥的步伐。

以光刻機(jī)技術(shù)而言，90納米、45納米、22納米分別是1個(gè)門(mén)檻，90納米升級(jí)到65納米不難，但65納米要到45納米可難了，干式曝光會(huì)在45納米這個(gè)門(mén)檻面臨極限。所以，當(dāng)時(shí)只要誰(shuí)能突破這個(gè)極限，誰(shuí)就是贏家，而我們現(xiàn)在都知道這個(gè)贏家是誰(shuí)。