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            博客專欄

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            這個SiC設(shè)備龍頭發(fā)布6英寸雙片式SiC外延設(shè)備!

            發(fā)布人:旺材芯片 時間:2023-02-06 來源:工程師 發(fā)布文章

            來源:化合物半導(dǎo)體市場 


            2月4日,晶盛機(jī)宣布成功發(fā)布6英寸雙片式SiC碳化硅外延設(shè)備,標(biāo)志著晶盛機(jī)電在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域取得重大突破。

            據(jù)介紹,晶盛機(jī)電用時兩年開展6英寸雙片式SiC外延設(shè)備的研發(fā)、測試與驗證,在外延產(chǎn)能、運營成本等方面已取得國際領(lǐng)先優(yōu)勢,與單片設(shè)備相比,新設(shè)備單臺產(chǎn)能增加70%,單片運營成本降幅可達(dá)30%以上,將對新能源產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生積極影響。

             

            圖片

            Source:晶盛機(jī)電


            發(fā)布會當(dāng)天,晶盛機(jī)電也重點介紹了8英寸SiC襯底片。據(jù)介紹,晶盛機(jī)電經(jīng)過一年的研發(fā),成功生長出行業(yè)領(lǐng)先的8英寸N型SiC晶體,完成了6英寸到8英寸的擴(kuò)徑和質(zhì)量迭代,實現(xiàn)8英寸拋光片的開發(fā),晶片性能參數(shù)與6英寸晶片相當(dāng),今年二季度將實現(xiàn)小批量生產(chǎn),有望助力我國在第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)實現(xiàn)自主可控。


            晶盛機(jī)電戰(zhàn)略定位先進(jìn)材料、先進(jìn)裝備市場,圍繞硅、藍(lán)寶石、碳化硅三大主要半導(dǎo)體材料開發(fā)一系列關(guān)鍵設(shè)備,業(yè)務(wù)同時延伸至化合物半導(dǎo)體材料領(lǐng)域。


            SiC設(shè)備和SiC材料是晶盛機(jī)電當(dāng)下發(fā)展的重點,設(shè)備涵蓋長晶、拋光和外延設(shè)備,其中,SiC外延設(shè)備已實現(xiàn)批量銷售;材料主要是6英寸導(dǎo)電型襯底,現(xiàn)階段,晶盛機(jī)電正在寧夏建設(shè)“碳化硅襯底晶片生產(chǎn)項目”,投產(chǎn)后將年產(chǎn)40萬片6英寸及以上導(dǎo)電型和半絕緣型SiC襯底。


            上述最新成果之外,晶盛機(jī)電去年也取得了多項研究成果:首顆8英寸N型SiC晶體成功出爐;建設(shè)了6英寸SiC晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)的研發(fā)實驗線,實驗線產(chǎn)品已通過下游部分客戶驗證。


            得益于第三代半導(dǎo)體及其他業(yè)務(wù)不斷取得突破,晶盛機(jī)電2022年業(yè)績預(yù)增,總營收約101.34—113.27億元,同比增長70%-90%;歸屬于上市公司股東的凈利潤約27.39—30.81億元,同比增長60%-80%。


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            關(guān)鍵詞: SiC設(shè)備

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