矢量網(wǎng)絡分析儀的誤差來源主要有以下三個方面：漂移誤差、隨機誤差、系統(tǒng)誤差  

1、漂移誤差：是由于進行校準之后儀器或測試系統(tǒng)性能發(fā)生變化所引起，主要由溫度變化造成。  

2、隨機誤差：是不可預測的且不能通過校準予以消除，主要隨時間隨機變化。然而，有若干可以將其對測量精度的影響減至最小的方法。  

隨機誤差的三個主要來源：  

<1>儀器噪聲誤差：是分析儀元件中產(chǎn)生的不希望的電擾動。這些擾動包括由于接收機的寬帶本底噪聲引起的低電平噪聲；由于測試裝置內(nèi)部本振源的本底噪聲和相位噪聲引起的高電平噪聲或跡線數(shù)據(jù)抖動。  

<2>開關重復性誤差：分析儀中使用了用來轉(zhuǎn)換源衰減器設置的機械射頻開關，有時機械射頻開關動作時，觸點的閉合不同于其上次動作的閉合。在分析儀你內(nèi)部出現(xiàn)這種情況時，便會嚴重影響測量的精度。  

<3>連接器重復性誤差：是由于連接器的磨損會改變電性能。  

3、系統(tǒng)誤差：  

系統(tǒng)誤差是由矢量網(wǎng)絡分析儀和測試裝置中的不完善性所引起，是重復誤差（因而可以預測），且假定不隨時間變化。系統(tǒng)誤差中的各項誤差都是矢量，一旦其矢量特征（幅度和相位）已知，這些誤差可以通過數(shù)學運算從原始的測量中減去。利用校準件可以達到減小誤差的目的。  

<1>反射測量產(chǎn)生下列三項系統(tǒng)誤差：方向性、源匹配、頻率響應反射跟蹤。  

<2>傳輸測量產(chǎn)生下列三項系統(tǒng)誤差：隔離、負載匹配、頻率響應傳輸跟蹤。