俄羅斯“斷供”氖氣，國產(chǎn)電子氣體價格狂飆
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編輯 | Panken
芯東西6月10日報道，近日，俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部宣布，將在2022年年底前限制氖氣、氪氣、氙氣等稀有氣體的出口，這些氣體的出口必須獲得俄羅斯政府許可。據(jù)俄媒報道，俄羅斯或對“不友好”的國家發(fā)起氖氣制裁。俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)至今，氖氣、氪氣、氙氣等稀有氣體價格均大幅上漲，高純氖氣更是上漲了十倍有余。本周一，A股特種氣體概念股普遍上漲，其中華特氣體漲幅近15%，昊華科技、和遠氣體、金宏氣體等特種氣體供應商股價均有上漲。
▲工業(yè)氣體板塊周一大漲
同時，俄烏戰(zhàn)爭以及隨后俄羅斯被多國制裁，更是推動了國產(chǎn)玩家的擴產(chǎn)和布局動作。今年3月以來，華特電子、金宏氣體、凱美特氣、和遠氣體等國內(nèi)關鍵供應商，都發(fā)布了新的擴產(chǎn)和布局計劃。當前的全球電子特種氣體市場中，美國空氣化工集團、法國液化空氣集團、日本大陽日酸株式會社、美國林德集團等行業(yè)龍頭占據(jù)了80%以上的市場份額。俄羅斯制裁、擴產(chǎn)潮下的國產(chǎn)半導體供應鏈氣體玩家，正由光刻用氣、硅烷、砷烷等細分領域開始，逐步擴大市場份額。
▲芯東西不完全統(tǒng)計國產(chǎn)特種氣體玩家擴產(chǎn)計劃（截至2022年6月）
本文福利：俄烏沖突導致半導體所用氖氣、氪氣、氙氣等稀有氣體價格上漲，中國稀有氣體行業(yè)具有全球競爭力。推薦精品報告《工業(yè)氣體：國產(chǎn)替代提速，電子特氣成長性好》可在公眾號聊天欄回復關鍵詞【芯東西269】獲取。01.烏克蘭氖氣供應商卷入戰(zhàn)火或僅滿足全球一半需求
▲馬里烏波爾鋼鐵廠
Ingas公司首席商務官Nikolay Avdzhy在給路透社的一封電子郵件中說，沖突爆發(fā)之前，Ingas公司每月能為韓國、中國、美國和德國的客戶生產(chǎn)1.5萬至2萬立方米的氖氣，其中約75%的氖氣用于芯片行業(yè)。Cryoin公司的業(yè)務發(fā)展總監(jiān)拉里薩-邦達連科（Larissa Bondarenko）則稱，該公司在烏克蘭敖德薩每月大約能生產(chǎn)1萬至1.5萬立方米的氖氣，但該公司在2月24日就停止了運營，以保證員工的安全。據(jù)統(tǒng)計，這兩家烏克蘭氣體公司供應了全球45%-54%的半導體級氖氣。有分析師稱，如果烏克蘭的氖氣生產(chǎn)商繼續(xù)關閉，2022年，該國氖氣產(chǎn)能將不超過270噸。盡管烏克蘭氖氣供應能力下降較大，但目前氖氣的供應短缺和成本上漲，仍未對芯片制造造成關鍵影響。因為2015年，半導體行業(yè)已經(jīng)經(jīng)歷過一輪稀有氣體暴漲風波，普遍有了預警和準備。早在2015年，烏克蘭和俄羅斯之間的沖突就導致氖氣價格一路上漲，當時氖氣價格上漲了600%，對半導體供應鏈造成了較大影響。在2015年后，半導體企業(yè)普遍對氖氣供應進行了開源和節(jié)流舉措，在減少氖氣用量的同時，轉向多元的供應模式。從節(jié)流上來說，Cymer和Gigaphoton兩大光刻機光源供應商在2014年、2015年氖氣大漲價后，就針對性地降低了氖氣的使用量，并開發(fā)了氖氣回收循環(huán)技術，降低了97%的氖氣用量。開源上來說，SK海力士、英特爾、ASML、臺積電、美光等半導體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)強調(diào)具備多個氖氣供應來源。本次俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)后，這些廠商均稱有較多庫存，認為烏克蘭和俄羅斯兩地的斷供在短期內(nèi)難以影響其生產(chǎn)。但也有業(yè)內(nèi)人士指出，大多企業(yè)的稀有氣體庫存在六個月以內(nèi)，如果俄烏戰(zhàn)爭持續(xù)時間過長，氖氣的供應短缺仍會對芯片供應造成損害。根據(jù)浙商證券研報，2022年6月2日，中國氪氣市場價為5.45萬元/立方，氙氣市場價為54.3萬元/立方，氖氣市場價為1.8萬元/立方，氪氣、氙氣相比戰(zhàn)爭前均有2-3倍增長，氖氣戰(zhàn)前價格更是僅有1500/立方左右。
▲高純氖氣出廠及市場價格變化（圖片來源：浙商證券）
02.國產(chǎn)氣體供應商快速成長獲ASML、英特爾、美光認證
▲電子氣體在半導體生產(chǎn)中的應用（圖片來源：安信證券）
對于半導體行業(yè)，所需特種氣體種類豐富，在芯片制造環(huán)節(jié)的硅片制造、氧化、光刻、薄膜沉積、刻蝕、離子注入等工序所需特種氣體種類超過50種，下游客戶往往希望能在一家供應商完成多種產(chǎn)品的采購，對供應商的產(chǎn)品種類和技術都提出了較高要求。電子特種氣體領域，德國林德集團、法國液化空氣集團和美國空氣化工產(chǎn)品集團是全球最大的三家氣體供應商，2019年合計占據(jù)了全球電子氣體70%的市場份額。
▲2019年全球工業(yè)氣體市場份額（圖片來源：安信證券）
在國產(chǎn)玩家中，成立于1999年、2019年于科創(chuàng)板上市的華特氣體是國產(chǎn)特種氣體玩家的代表。華特氣體則是國內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄椤⒏呒儼朔?、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣等產(chǎn)品進口制約的氣體公司，其還是我國目前唯一通過ASML和日本光刻機激光光源供應商Gigaphoton認證的氣體公司。在德國林德集團、法國液化空氣集團和美國空氣化工產(chǎn)品集團以及日本昭和電工等國外氣體公司寡頭壟斷的情況下，華特氣體對國內(nèi)8英寸集成電路制造商的覆蓋率超過80%，客戶包括中芯國際、華虹宏力、長江存儲、武漢新芯、華潤微電子、臺積電（中國）、和艦科技、士蘭微等，并進入了英特爾、美光、德州儀器、SK海力士、英飛凌等國際芯片巨頭產(chǎn)線。2014年、2015年俄烏沖突后，華特氣體的氖氣、氪氣供應開始從烏克蘭轉向中國。根據(jù)2019年華特氣體招股書，其粗氖氣供應主要來自北京首鋼氧氣廠、臨沂啟元氣體有限公司、邯鄲市邯鋼附企特種氣體有限公司等國內(nèi)企業(yè)，背靠烏克蘭氖氣供應的氣體經(jīng)銷商EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD份額清零。
▲華特氣體氖氣供應情況（圖片來源：華特氣體招股書）
其氪氣供應也從EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD變?yōu)榘不仗炖蕷怏w發(fā)展有限公司、北京首鋼氧氣廠、法國液化空氣集團、韓國KOREA NOBLE GAS CO.,LTD等公司。今年4月，華特氣體宣布將向不特定對象發(fā)行可轉換公司債券，以募集資金建設年產(chǎn)1764噸半導體材料建設項目、研發(fā)中心建設項目和補充流動資金。其中年產(chǎn)1764噸半導體材料建設項目計劃投資4.66億，計劃兩年后投產(chǎn)，建成后將生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、六氟丙烷及異構體、溴化氫、三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共1764噸/年。截至6月10日A股收盤，華特氣體股價為71.01元/股，漲幅5.39%，總市值85.21億元。
03.四大國產(chǎn)玩家集體擴產(chǎn)專攻半導體特氣
▲金宏氣體產(chǎn)品展示
2022年3月，金宏氣體宣布，開始布局氦氣全產(chǎn)業(yè)鏈，開啟國內(nèi)少有的“儲氦”和“運氦”業(yè)務。其公司官網(wǎng)顯示，2020年以來中國從國際市場上獲得氦氣正變得越來越困難。一方面，全球新冠肺炎疫情讓氦氣生產(chǎn)和運輸受到較大影響；另一方面，俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)后，法國液化空氣集團等國際氣體巨頭集體對俄羅斯進行“制裁”，使后者在氦氣生產(chǎn)、運送和銷售上舉步維艱。此外，中美關系的緊張，也導致購買氦氣的難度較高。截至今日收盤，金宏氣體股價為19.30元/股，漲幅2.55%，總市值93.73億元。凱美特氣則成立于1991年，總部位于湖南省岳陽市，主要從事干冰、食品添加劑液體二氧化碳以及其他工業(yè)氣體業(yè)務。2011年2月，凱美特氣登陸深交所主板。
▲凱美特氣
2017年，凱美特氣建設25套電子特種氣體生產(chǎn)裝置，進軍半導體領域。今年3月，凱美特氣在投資者交流活動中，著重分享了氪氖氙氣體的產(chǎn)能情況，其中氪11750立方米/年、氙900立方米/年、氖6.8萬立方米/年。此外，凱美特氣還計劃在上游的巴陵石化空分新建裝置加裝稀有氣體提取裝置，預計在未來將實現(xiàn)稀有氣體氦、氖、氪、氙的自給自足。3月18日，凱美特氣計劃募資10億，建設宜章凱美特特種氣體項目和福建過氧化氫項目。宜章凱美特特種氣體項目投資7.5億，建成后產(chǎn)品主要包括電子級氯化氫、電子級溴化氫、電子級碘化氫、氟基混配氣、電子級三氟化氯、電子級乙炔、氘氣等。福建凱美特過氧化氫項目投資總額5.2億，計劃年產(chǎn)30萬噸的食品、電子級過氧化氫，其產(chǎn)品可用于清洗和刻蝕大規(guī)模集成電路、LCD及半導體領域。在投資者問答中，凱美特氣還提到，其電子特種氣體產(chǎn)品正多批次送樣中，并正在積極推進ASML認證。
▲凱美特氣投資者問答
今日收盤后，凱美特氣股價為15.26元/股，漲幅10.02%，總市值95.18億元。和遠氣體成立于2003年，總部位于湖北省宜昌市，2020年在深交所主板掛牌上市。其產(chǎn)品有氬氣、氦氣、醫(yī)用氧氣、工業(yè)氧氣、氮氣以及特種氣體等，客戶包括臺基半導體、智睿半導體、奇宏光電等、TCL等。今年3月，和遠氣體投資成立和遠新材料，在宜昌高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設電子特氣及功性能材料項目，項目一期總投資為18億元。該項目主要產(chǎn)品為三氟化氮、六氟丁二烯等電子特氣以及功能性硅烷，可被廣泛應用于半導體、集成電路、微電子、太陽能電池、光纖等領域。
▲和遠氣體擴產(chǎn)公告
其項目公示文件寫道，國內(nèi)對含氟電子特種氣體工業(yè)化生產(chǎn)技術存在迫切需求，由于受歐美日韓等發(fā)達國家技術嚴密封鎖，而導致含氟電子特種氣體制備成為一種“卡脖子”技術。該項目生產(chǎn)的含氟電子特種氣體則是人工智能芯片、超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器和半導體材料制造的關鍵基礎材料，對促進我國芯片“自主、可控”有著重要意義。截至今天收盤，和遠氣體股價22.52元/股，漲幅3.73%，總市值36.03億元。南大光電創(chuàng)辦于2000年，起源于南京大學教授孫祥禎承擔的“高純度金屬有機化合物（MO源）”國家“七五”科技項目，并于2012年在深交所上市。此后，南大光電業(yè)務逐漸由半導體MO源材料，擴展至光刻膠、前驅體材料和特種氣體等。今年6月，南大光電提交向不特定對象發(fā)行可轉換公司債券募集說明書，計劃募資9億元。南大光電披露，將投資1億元用于年產(chǎn)140噸高純磷烷、砷烷擴產(chǎn)及砷烷技改項目，5億元用于烏蘭察布南大微電子材料有限公司年產(chǎn)7200T電子級三氟化氮項目。
▲南大光電創(chuàng)始人、名譽董事長孫祥禎
今日收盤后，南大光電股價為30.71元/股，總市值166.98億元，漲幅2.64%。04.結語：各國角力半導體國產(chǎn)特種氣體玩家或遇發(fā)展良機
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