來源：芯TIP

報(bào)告主題：超寬禁帶半導(dǎo)體的挑戰(zhàn)與機(jī)遇

報(bào)告作者：Sandia NL、UWBG Working Group、Ultra EFRC

NY CREATES Emerging Technologies Seminar Bob Kaplar, Sandia National Labs

報(bào)告內(nèi)容包含：（具體內(nèi)容詳見下方全部報(bào)告內(nèi)容）

• 超寬禁帶半導(dǎo)體的應(yīng)用

• 超寬禁帶半導(dǎo)體屬性

• Sandia AlGaN 器件：

  ? 電力電子

  ? 射頻

  ? 高閾邏輯

  ? 光電

報(bào)告詳細(xì)內(nèi)容

? 第 1 代：Ge 和 Si

? 第 2 代：常規(guī) III-Vs – 砷化物、磷化物、銻化物

? 第 3 代：寬禁帶——SiC、GaN、InGaN

? 第 4 代：超寬禁帶 –AlxGa1-xN、(AlxGa1-x)2O3、金剛石、c-BN 等

01

超寬禁帶半導(dǎo)體的應(yīng)用

# 軍事應(yīng)用

在 SWaP 受限的環(huán)境中需要更高程度的電氣化和功率

# 超高電壓應(yīng)用

脈沖功率、長(zhǎng)距離傳輸

使用UWBG半導(dǎo)體可能實(shí)現(xiàn)100kV的開關(guān)!

# 極端環(huán)境下的電力電子

電力電子器件的相關(guān)極端環(huán)境：

- 極端溫度

- 輻射

- 振動(dòng)、腐蝕

UWBG 有望在較寬的溫度范圍和輻射下保持穩(wěn)定性

# 能效應(yīng)用

# 射頻應(yīng)用

# 紫外光電

? 水凈化

? 生物制劑檢測(cè)

? 日盲探測(cè)器

# UWBG 材料的量子、傳感、導(dǎo)航和其他應(yīng)用

02 超寬禁帶半導(dǎo)體屬性

# 臨界電場(chǎng)和單極品質(zhì)因數(shù)的定義

# 臨界電場(chǎng)不是恒定的

臨界電場(chǎng)取決于：

? 電場(chǎng)分布（EC 正式定義為非穿透漂移區(qū)的三角場(chǎng)分布）

? 摻雜（影響場(chǎng)分布和電離積分）

? 溫度（聲子散射與碰撞電離競(jìng)爭(zhēng)）

# 臨界電場(chǎng)隨帶隙變化并決定了品質(zhì)因數(shù)大小

# UWBG可能會(huì)有非常高的擊穿電壓

增加EC可能會(huì)大大增加VB

- 使用AlN等材料可以實(shí)現(xiàn)100kV的器件

- 但也需要低摻雜和厚的漂移層

# UWBG中的傳輸

? 合金散射在 AlGaN 的低場(chǎng)傳輸中占主導(dǎo)地位

? 導(dǎo)致較弱的溫度依賴性

03 Sandia AlGaN 器件

# AlGaN的材料特性

# 功率密度隨半導(dǎo)體材料特性的變化而變化

# WBG/UWBG功率開關(guān)應(yīng)用范圍分析

? GaN 和 AlN 在中頻范圍內(nèi)的高電壓下是首選

? 更高EC的好處

? 在低頻和高頻下效果不佳（低電導(dǎo)率調(diào)制和增加反向恢復(fù)）

? 檢查 PiN 二極管，因?yàn)榉逯祱?chǎng)被埋在表面之下

? 更先進(jìn)設(shè)備的一部分

? 還必須考慮肖特基

# 為什么將AlGaN合金用于電力電子？

使用 UWBG 功率器件將系統(tǒng)性能提高一個(gè)數(shù)量級(jí)

AlGaN 是下一代功率器件的強(qiáng)大候選的UWBG 半導(dǎo)體

AlGaN 合金

# III-氮化物 PN 二極管的擊穿電壓

# 橫向功率器件品質(zhì)因數(shù)

? 不像單極 FOM 那樣廣為人知

? 單極（垂直）FOM 經(jīng)常被錯(cuò)誤地用于橫向設(shè)備

# 該種材料的UWBG HEMT 結(jié)構(gòu)

? 藍(lán)寶石襯底上的 MOCVD 生長(zhǎng)

? 平面源極和漏極觸點(diǎn)

# 富鋁 AlGaN HEMT 的電氣特性

源極和漏極接觸中的準(zhǔn)整流行為是一個(gè)挑戰(zhàn)

最近對(duì)觸點(diǎn)的改進(jìn)提高了電流密度并改善了低壓下的線性度

# 可在較大的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行

? 性能對(duì)溫度的依賴性相對(duì)較弱

? 可能是由于溝道遷移率對(duì)溫度不敏感

? 歐姆接觸在高溫下得到改善

# 擊穿電壓

# 富鋁 AlGaN HEMT 的歐姆接觸開發(fā)

# 增強(qiáng)型 AlGaN 功率晶體管

03 Sandia AlGaN 器件-射頻

# AlGaN 用于射頻器件的優(yōu)勢(shì)

# 與 GaN 溝道 HEMT 相比，預(yù)計(jì)富鋁 HEMT 的功率密度增加 8 倍

# 具有 80nm 柵極的 HEMT

# 射頻特性

03 Sandia AlGaN 器件-高閾邏輯

# 用于數(shù)字邏輯的增強(qiáng)型和耗盡型 HEMT

03 Sandia AlGaN 器件-光電

# AlGaN光電HEMT填補(bǔ)了UV-C探測(cè)器的技術(shù)空白

# 可見盲和日盲

參考來源：Sandia NL、UWBG Working Group、Ultra EFRC

NY CREATES Emerging Technologies Seminar Bob Kaplar, Sandia National Labs

部分編譯：芯TIP@吳晰（編譯僅供輔助閱讀）