渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

渦輪分子泵的工作原理，結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國(guó)外多利用干式機(jī)械泵作其前級(jí)泵，構(gòu)成無油的真空系統(tǒng)。然而，目前國(guó)內(nèi)渦輪分子泵多以油封機(jī)械泵為其前級(jí)泵，構(gòu)成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽返流，對(duì)真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，國(guó)內(nèi)外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗(yàn)。

應(yīng)用：當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來，渦輪分子泵，在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此，針對(duì)這種現(xiàn)狀，對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

分子泵常見的故障問題：

1、分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？

2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請(qǐng)問油為什么發(fā)黑？或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑？

3、分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？

4、分子泵軸承為什么會(huì)燒毀

5、有防護(hù)網(wǎng)保護(hù)，為什么還會(huì)有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？

6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？

7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形？

8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請(qǐng)問是否對(duì)分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？

9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？

10、變頻器電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或者錯(cuò)亂？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標(biāo)準(zhǔn)，是多少？

12、分子泵是否對(duì)冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對(duì)水有何具體要求？如未達(dá)到要求會(huì)出現(xiàn)何后果？

13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應(yīng)如何做才是最佳方式？

14、變頻器電源，轉(zhuǎn)速上升過程中就自動(dòng)關(guān)機(jī)，即顯示“Poff”？

15、分子泵葉片破碎的原因？

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