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            MEMS
            
						
                        
            
                        MEMS是微機電系統的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術，并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
 
MEMS技術的發(fā)展......	
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