用于通用X射線應用的晶圓級有源像素CMOS圖像傳感器

• 摘要: 本文以使用標準CMOS技術(shù)和有源像素架構(gòu)的CMOS有源像素傳感器為研究對象。該傳感器專為X射線成像系統(tǒng)而設計，具有噪聲低和感光度高等特點。這種傳感器已使用標準0.35μm技術(shù)和8″晶圓得到生產(chǎn)。傳感器分辨率為每40 x 40μm2 面積3360 x 3348像素。其對角長度略大于190mm。本文對傳感器的圖紙設計、拼接圖和已得到開發(fā)的電子光學性能進行了論述。       &nbs
• 關鍵字： CMOS  X射線  電源技術(shù)  晶圓級  模擬技術(shù)  圖像傳感器  有源像素  其他IC  制程  設備診斷類