怎樣保證分子真空泵穩(wěn)定且持久地運行？

• 作為一種真空獲得設(shè)備，分子真空泵（以下簡稱分子泵）因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應(yīng)用領(lǐng)域的主流設(shè)備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。圖表：分子泵在下游中的主要應(yīng)用1在進入21世紀(jì)之前，分子泵主要存在于科研與國防軍工領(lǐng)域。近十年間，隨著鍍膜、節(jié)能燈、顯示屏等新興產(chǎn)業(yè)的興起，分子泵逐漸在民用領(lǐng)域嶄露頭角并取得了快速發(fā)展2。尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進程的不斷推進和新能源鋰電池、光伏設(shè)備需求增長，使得國內(nèi)分子泵行業(yè)的市場規(guī)模一直處于上升趨勢。相關(guān)機構(gòu)預(yù)測到2026
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