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            面向CMUT陣元的阻抗匹配設計與聲場特性測試
            
                                                            
              
                    	
            • 電容式微機械超聲換能器（CMUT）是利用MEMS微加工技術制作的超聲換能器，具有低聲阻抗、寬帶寬、體積小等優(yōu)點。然而，相比于壓電式超聲換能器，CMUT存在發(fā)射靈敏度較低、輸出聲壓不夠高等問題。據(jù)麥姆斯咨詢報道，為了解決CMUT聲發(fā)射能力弱、輸出聲壓低的問題，中北大學研究人員根據(jù)CMUT工作原理與阻抗匹配理論設計了匹配電路，實現(xiàn)信號源端到CMUT的最大功率傳遞，以此提升CMUT的聲發(fā)射性能，為CMUT的實際應用提供解決方案。相關研究成果已發(fā)表于《傳感器與微系統(tǒng)》期刊。單個CMUT陣元由許多CMUT微元構成，
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            • 關鍵字：
                        MEMS  CMUT                          
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            Pickering推出新款基于MEMS的射頻開關模塊
            
                                                            
              
                    	
            • 與Menlo Microsystems的合作將新的開關技術引入PXI射頻多路復用開關，以顯著地提高性能。2023年6月26日，于英國Clacton-on-sea。Pickering Interfaces公司作為生產用于電子測試及驗證領域的信號開關與仿真解決方案的主要廠商，于今日發(fā)布了一款采用新的開關技術的PXI/PXIe射頻多路復用開關模塊新產品。新款基于MEMS的射頻多路復用開關是無線通訊和半導體測試的理想選擇，與傳統(tǒng) EMR（電磁繼電器）開關相比，操作壽命大大延長（高達300倍）、切換速度更快（高達6
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            • 關鍵字：
                        Pickering  MEMS  微機電系統(tǒng)  射頻開關模塊                          
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            意法半導體推出業(yè)內首個MEMS防水壓力傳感器
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • ■ 1260 hPa和4060 hPa雙量程絕對壓力氣壓計，數(shù)字輸出，Qvar?檢測技術，防水封裝■ 測量精度高，耐候性出色，適用于燃氣表、水表、天氣監(jiān)測、空調和家用電器2023年6月13日，中國 – 服務多重電子應用領域、全球排名前列的半導體公司意法半導體(STMicroelectronics，簡稱ST；紐約證券交易所代碼:STM)在工業(yè)市場上推出了首款 MEMS 防水/防液絕對壓力傳感器，納入十年供貨保證計劃。意法半導體 AMS MEMS 子產品部總經理 Simone Ferri 
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            • 關鍵字：
                        意法半導體  MEMS  防水壓力傳感器                          
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            電容式MEMS壓力傳感器的優(yōu)化設計
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 由于MEMS壓力傳感器的制作過程中存在著許多不可控因素，例如，制備環(huán)境、工藝誤差、設備誤差等，因此，整個MEMS壓力傳感器的穩(wěn)健優(yōu)化設計是極其重要的。本文對電容式MEMS壓力傳感器進行優(yōu)化設計，以期為后續(xù)研究開發(fā)電容式MEMS壓力傳感器奠定必要的基礎依據(jù)。
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            • 關鍵字：
                        202305  MEMS  壓力傳感器  電容式  優(yōu)化設計                          
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            創(chuàng)新的60 GHz雷達傳感器，實現(xiàn)非接觸式監(jiān)測心跳和呼吸頻率等生命體征
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 據(jù)麥姆斯咨詢報道，使用雷達傳感器監(jiān)測生命體征的研究已經進行了幾十年。該技術能夠對心跳和呼吸頻率進行持續(xù)的非接觸式監(jiān)測，并具有低功耗和小PCB尺寸的優(yōu)勢。憑借創(chuàng)新的60 GHz雷達傳感器，其在消費電子產品中的應用正在成為現(xiàn)實。在老齡化社會中，健康監(jiān)測將發(fā)揮越來越重要的作用。健康問題最好能在早期階段被發(fā)現(xiàn)，從而避免住院或至少盡可能縮短住院時間。人們希望在自己熟悉的環(huán)境中過著自主和獨立的生活，直到晚年。此外，年輕人對更加個性化和自主的醫(yī)療服務感興趣。通過隨時監(jiān)測健康狀態(tài)，人們有可能在早期發(fā)現(xiàn)疾病和精神壓力并采取
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            • 關鍵字：
                        MEMS  傳感器                          
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            芯片溫度檢測，什么方法最有效？
            
                                                            
              
                    	
            • 下面幾種測溫方法，都不能完全適用于芯片各環(huán)節(jié)的溫度檢測，那么，如何才能實現(xiàn)精準高效測溫？芯片溫度檢測，你都知道哪些方法？●   使用熱電偶測量（接觸式測溫，易產生誤差）●   參照經典的結溫方程（TJ = TA + PD?JA ）計算溫度（相對保守，與實際溫度差別較大）●   利用二極管作為溫度傳感器來檢測（只適用于某些特定情況）紅外熱像儀是一種非接觸的測溫儀器，可以通過對物體表面的熱（溫度）進行分布成像與分析，直接“看見”芯片的溫度分布。芯片熱
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            • 關鍵字：
                        MEMS  芯片溫度檢測                          
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            如何構建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測中的振動檢測
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 狀態(tài)監(jiān)測是當今使用機械設施和技術系統(tǒng)（例如使用電機、發(fā)電機和齒輪）的核心挑戰(zhàn)之一。計劃維護對于最大限度地降低生產停機風險變得越來越重要，不僅在工業(yè)領域，而且在使用機器的任何地方。除此之外，還分析了機器的振動模式。狀態(tài)監(jiān)測是當今使用機械設施和技術系統(tǒng)（例如使用電機、發(fā)電機和齒輪）的核心挑戰(zhàn)之一。計劃維護對于最大限度地降低生產停機風險變得越來越重要，不僅在工業(yè)領域，而且在使用機器的任何地方。除此之外，還分析了機器的振動模式。齒輪箱引起的振動通常在頻域中被感知為軸速度的倍數(shù)。不同頻率的不規(guī)則性表明零件磨損、不平
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            • 關鍵字：
                        MEMS                          
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            松下汽車類6軸單芯片MEMS慣性傳感器，提高車載系統(tǒng)的安全性和舒適性
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 據(jù)麥姆斯咨詢介紹，在當下的“萬物電氣化（electrification of everything）”時代，傳感器已成為一個必不可少的先決條件：汽車、巴士、摩托車、無人送貨車、建筑機械和許多其它車輛配備越來越多的傳感器，以實現(xiàn)安全且舒適的輔助駕駛/自動駕駛。全面的感知能力對于支持運動檢測、定位、導航、數(shù)據(jù)融合等許多用途至關重要。為此，松下機電（Panasonic Industry）開發(fā)出汽車類6軸MEMS慣性傳感器系列，即MEMS慣性測量單元（IMU），該系列產品通過單芯片解決方案面向車載領域的功能安全（
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            • 關鍵字：
                        松下  傳感器  MEMS                          
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            基于硅納米波導倏逝場耦合的超緊湊光學式MEMS加速度計
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補金屬氧化物半導體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關注。目前已經開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質量塊位移。在這些技術中，光學方案已被證明具有更高的精度和穩(wěn)定性，并且不會受到電磁干擾（EMI）。近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補金屬氧化物半導體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關注。目前已經開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質量塊位
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            • 關鍵字：
                        MEMS  硅納米波                          
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            微流控電阻抗檢測系統(tǒng)，用于細胞無標記即時檢測
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 基于電阻抗的細胞分析是一種無標記、非侵入性技術，已廣泛用于分析和識別各種應用中的細胞特征，如組織培養(yǎng)、細胞生長及活力檢測等。微流控技術能夠將涉及樣品制備、操作和基于阻抗檢測的分析過程集成到單片芯片上，最大限度地減少系統(tǒng)尺寸、重量。據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所的研究人員于《功能材料與器件學報》發(fā)表論文，搭建了一種簡便的微流控電阻抗檢測系統(tǒng)，可根據(jù)電學差異對體積相近的不同微粒進行區(qū)分，具有成本低、易集成、非標記等優(yōu)勢，未來可進一步用于現(xiàn)場細胞即時檢測。微流控芯片的設計與制作采用
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            • 關鍵字：
                        MEMS  微流控                          
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            慣性傳感器+類卡爾曼誤差補償，預測AR/VR設備方向
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 增強現(xiàn)實（AR）和虛擬現(xiàn)實（VR）技術近年在產業(yè)界和學術界吸引了極高的關注度，它們豐富了現(xiàn)實世界環(huán)境，或用模擬環(huán)境替代現(xiàn)實世界。然而，AR/VR設備存在的端到端延遲會嚴重影響用戶體驗。尤其是動顯延遲（Motion-to-photons latency，定義為從用戶發(fā)生動作到該動作觸發(fā)的反饋顯示在屏幕上所需要的時間），它是限制AR/VR應用的主要挑戰(zhàn)之一。例如，動顯延遲高于20 ms就會導致用戶惡心或眩暈。因此，減少動顯延遲對于改善用戶的虛擬體驗至關重要。減少動顯延遲的一種常見方法是通過預判用戶的移動來預測
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            • 關鍵字：
                        MEMS  傳感器                          
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            睿感（ScioSense）推出基于CMOS-MEMS工藝的單芯片壓力傳感器
            
                                                            
              
                    	
            • 荷蘭 埃因霍溫，中國 濟南，2022年11月15日——業(yè)界領先的環(huán)境和高精度流量和時間測量傳感芯片廠商睿感（ScioSense）今日宣布，推出采用緊湊型封裝的內置溫度傳感器的超低功耗壓力傳感器--ENS220，可提供卓越的測量速度、分辨率和精度。 ENS220將在慕尼黑電子展（electronica，11月15-18日慕尼黑）B3.419號ScioSense展臺展出。 該傳感器采用業(yè)界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封裝，適用于移動設備和可穿戴設備，如智能手表和腕帶、GPS導航系
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            • 關鍵字：
                        睿感  ScioSense  CMOS-MEMS  壓力傳感器                          
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            基于紅外熱釋電效應的微型NDIR CO2傳感器，可在不同溫度、濃度下精確測量
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，中北大學譚秋林教授團隊在《中國激光》期刊上發(fā)表了題為“雙通道非分光紅外CO2氣體傳感器設計與測試”的最新論文，文中設計實現(xiàn)了一種微型雙通道非分光紅外（NDIR）CO2氣體傳感器，采用標準氣體濃度標定傳感器的方法，實現(xiàn)了傳感器的溫度補償，使其能夠在不同溫度與不同濃度的環(huán)境下進行精確測量?；诩t外吸收原理的氣體傳感器具有選擇性高的突出優(yōu)勢，但面臨集成度不高、尺寸大、精度低以及核心部件依賴進口等問題。國內目前普遍采用進口傳感器，或者購入半成品二次加工。近年來，在各大研究機構與高校的努力下
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            • 關鍵字：
                        MEMS  傳感器                          
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            基于傳感器內神經網(wǎng)絡的模擬-信息轉換技術，可顯著降低傳感器功耗
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，亞利桑那州立大學（Arizona State University）介紹了一種片上模擬-信息轉換技術，該技術利用基于儲層計算范式的模擬超維計算，在本地傳感器內處理心電圖（electrocardiograph，ECG）信號，并將射頻（RF）傳輸減少三個數(shù)量級以上。片上模擬-信息轉換器不是傳輸稀疏的ECG信號或提取的特征，而是通過一個附有人工神經網(wǎng)絡的非線性存儲內核來分析ECG信號，并傳輸預測結果。所開發(fā)的技術被證明可用于檢測敗血癥發(fā)作，并實現(xiàn)了超高的準確度和能效，同時使用65nm C
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            • 關鍵字：
                        MEMS  傳感器                          
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            基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風，可有效提高信噪比
            
                                                            
                                        
              
                    	
            • 據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，韓國首爾國立大學（Seoul National University）開發(fā)了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風，其中的讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造，面積為0.98mm2，在94dBSPL、520μA電流消耗下，A加權信噪比（SNR）為62.1dBA，三重采樣可提高4.5dBA的信噪比。MEMS麥克風已經成為智能手機和平板電腦的標配，也廣泛應用于汽車和醫(yī)療設備中。與駐極體電容式麥克風（ECM）相比，MEMS麥克風更易于集成、更可保證性能一致性且尺寸
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            • 關鍵字：
                        MEMS  麥克風                          
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