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半導體商Entegris 推出下一代450mm晶圓承載盒
- 高度先進制造環(huán)境提升產(chǎn)量材料與解決方案的領導廠商Entegris,Inc.，推出了下一代450mm晶圓承載盒解決方案(P2)，這個解決方案能夠安全可靠地運輸半導體制程所需的450mm晶圓，供應至世界各地。450mmP2晶圓承載盒精確符合450mm設備標準、微粒產(chǎn)生量，且可減少清潔循環(huán)時間，可有效運送及處理SEMI?M1標準晶圓。 Entegris資深執(zhí)行副總兼營運長ToddEdlund表示，當產(chǎn)業(yè)改用450mm晶圓，制造商也須面對處理晶圓的新挑戰(zhàn)，以保持制造SEMI標準M1品質(zhì)晶圓所需的潔凈度。
- 關鍵字： 半導體 Entegris 晶圓
Entegris 發(fā)布新型 VaporSorb? 過濾器
- Entegris Inc.是一家為先進制造環(huán)境提供良率提升材料和解決方案的領先企業(yè),公司今日發(fā)布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的衍生產(chǎn)品。VaporSorb 是領先的過濾器品牌，在半導體制造的關鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機臺。VaporSorb 過濾器已發(fā)展為捕獲氣體有機物、堿基類和強酸的一體式過濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨特材料，是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物，而且還能捕獲第四類污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過濾器。 此款新型過濾器
- 關鍵字： Entegris VaporSorb 過濾器
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