- 制造SiC功率元件不可缺少的SiC基片(晶圓)的品質在不斷提升。不僅是目前主流的直徑為4英寸(100mm)的產品,6英寸(150mm)產品的結晶缺陷也越來越少。
美國科銳(Cree)在SiC基片市場上占有較高份額,從該公司在SiC國際學會“ICSCRM2013”(2013年9月29日~10月4日于日本宮崎縣舉行)上發(fā)表的內容來看,截至2013年,功率元件用6英寸產品的微管密度在1個/cm2以下,平均水平為0.5個/cm2左右,較好時可達到0.01個/cm2。據估算,采
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科銳 SiC基片
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