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            Point 35 Microstructures將氧化物釋放添加到MEMS制造系列

            •   全球微機電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)蝕刻和沉積設(shè)備供應(yīng)商Point 35 Microstructures公司,今日在上海宣布推出汽相氧化物釋放蝕刻模塊,進一步擴展其微機電系統(tǒng)(MEMS) 單晶圓制造memsstar?產(chǎn)品系列。這項新增的技術(shù)將確保MEMS器件設(shè)計師得到更多的生產(chǎn)選擇,同時帶來了寬泛的制造工藝窗口和各種工藝控制等等好處,從而使良率得到了最大的提升。   SVR-vHF氧化物釋放模塊結(jié)合現(xiàn)有的memsstar? SVR-Xe 犧牲性汽相釋放(SVR)模塊,利用無水氫氟蒸汽(aH
            • 關(guān)鍵字: Point 35 Microstructures,SVR,MEMS  
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