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陶氏電子材料推出OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機(jī)械研磨墊
- 陶氏電子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機(jī)械研磨墊，該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)目標(biāo)是在研磨墊的使用壽命內(nèi)實(shí)現(xiàn)低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨(dú)特的聚合物化學(xué)組成和細(xì)孔結(jié)構(gòu)，以達(dá)到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介電層去除率。OPTIVISION? 4540 研磨墊擁有雙孔結(jié)構(gòu)以精確控制研磨，并且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。 OPTIVISION? 4540 研磨墊可用于使用傳統(tǒng)
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