- 3-D Flash新創(chuàng)公司Schiltron Corporation與專門提供化學機械拋光設備及代工服務的領先供應商Entrepix合作發(fā)展使用現有的材料，工具和制程的方法制造3-D Flash，從而利用簡單直接的方式擴大產量。 Schiltron 3-D Flash制造方式的最關鍵工藝的步驟是化學機械設備(CMP)的達成。該公司的聯合開發(fā)的努力已制造迄今為止最小的矽基薄膜電晶體(Silicon-base thin-film transistors) 。
晶體管結構和低溫度預算工藝步驟(low
- 關鍵字：
Entrepix 晶體管 CMP 矽基薄膜電晶體
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