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Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級(jí)別
- Gigaphoton公司18日宣布已經(jīng)成功將LPP EUV光源產(chǎn)品的輸出端等效最大功率推進(jìn)到了20W水平。該公司達(dá)成這個(gè)目標(biāo)所使用的方法是，使用固態(tài)預(yù)脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標(biāo)。采用這種方法，該公司在光源運(yùn)行過程中達(dá)成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認(rèn)可的預(yù)生產(chǎn)型商用EUV光源輸出功率級(jí)別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標(biāo)志著預(yù)生產(chǎn)極 EUV光源發(fā)展過程中的一個(gè)新里程碑。 ? ? Gigaphoton公司
- 關(guān)鍵字： Gigaphoton EUV光源
EUV光源廠商散伙
- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關(guān)光源合資企業(yè)Gigaphoton的合作協(xié)議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權(quán)。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會(huì)為EUV的未來投下何種變數(shù)仍有待觀察。
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