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三星旗下Semes成功開發(fā)出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設(shè)備
- 6月24日，三星電子旗下的韓國(guó)半導(dǎo)體和顯示器制造設(shè)備公司表示，第一臺(tái)名為“Omega Prime”的設(shè)備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺(tái)設(shè)備。Semes表示，在Omega Prime設(shè)備上應(yīng)用了噴嘴、烘烤溫度和機(jī)器人位置自動(dòng)調(diào)整系統(tǒng)，以消除涂布層的偏差。目前，Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設(shè)備，并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了ArF版本，以支持波長(zhǎng)更短的新型光刻機(jī)。
- 關(guān)鍵字： 三星 Semes ArF-i 光刻涂膠 顯影設(shè)備
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