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顯微鏡的STM原理與AFM工作原理

顯微鏡的STM原理與AFM工作原理STM概述1982年，國際商業(yè)機器公司蘇黎世實驗室的G..Binnig和HeinrichRohrer及其同事們共同研制成功了世界上第一臺新型的表面分析儀器—掃描隧道顯微鏡(ScanningTunnelingMicroscope...
關(guān)鍵字：顯微鏡 STM原理 AFM

半導(dǎo)體工業(yè)目前已經(jīng)進入65納米及以下技術(shù)時代，關(guān)鍵特征通常為納米級，如此小特征的制造工藝要求特殊的測量儀器，以便能夠表征出納米級幾何尺寸，從而檢驗出任何偏離工藝規(guī)格中心值的情況，確保與設(shè)計規(guī)格保持一致。
關(guān)鍵字： AFM 65 nm 測量技術(shù)

Asylum Research近日宣布將對其原子力/掃描探針顯微鏡（AFM/SPM）產(chǎn)品提供2年的標準性保證，包含Ayslum MFP-3D和Cypher AFM線上完整AFM系統(tǒng)的零部件和人力維護。在普通使用過程中產(chǎn)生的問題，Asylum將為客戶提供零成本維修。這項新的維護是對Asylum的6個月無條件退款保證的補充，為客戶提供更新更高標準的保護。
關(guān)鍵字： Asylum AFM/SPM

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