超高精度隧道式硅微加速度計(jì)反饋控制電路設(shè)計(jì)*

• 　　隧道加速度計(jì)的制備和檢測原理 　　典型隧道加速度計(jì)由隧尖、質(zhì)量塊、支承梁、驅(qū)動電極、隧尖對應(yīng)電極以及相應(yīng)的反饋控制電路組成，其基本結(jié)構(gòu)圖和工作原理框圖如圖1所示；圖2顯示的是北京大學(xué)微電子研究院微米納米加工國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室使用MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝加工出來的基于電子隧道穿通的加速度計(jì)以及封裝形式。 　　根據(jù)量子力學(xué)的隧道原理，當(dāng)隧道針尖和對電極原子間的間距小到納米量級時，電極和針尖中的電子都有一定的幾率跨越隧道勢壘到達(dá)對方的，在電極偏壓的作用下，電子從隧道針尖到對電極的透射幾率加強(qiáng)；同時，抑制了電
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