防微振技術(shù)使精密生產(chǎn)成為可能

• 　　防微振技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)的各個領(lǐng)域，從而保證精密設(shè)備能在各種復(fù)雜的振動環(huán)境下正常工作。 　　電子工廠設(shè)計中的一個重要環(huán)節(jié)是微污染控制。電子工業(yè)是精密制造業(yè)，由于科技進(jìn)步的日新月異，制造精度已達(dá)到了納米級。以集成電路為例，制版、光刻等工序需將環(huán)境微振動控制在VC-E或VC-F級，即振動速度應(yīng)小于3μm/s或1.5μm/s。對于TFT-LCD、LED(發(fā)光二極管)及OLED(有機發(fā)光二極管)來說，也有較嚴(yán)格的微振動控制要求，如曝光機、涂布機等在自身會產(chǎn)生振動的情況下，要保證設(shè)備基臺的振動
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