等離子刻蝕系統(tǒng) 文章 進入等離子刻蝕系統(tǒng)技術(shù)社區(qū)
北方微電子等離子刻蝕系統(tǒng)中標兩項目
- 近日，北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)項目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標上海藍光LED項目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產(chǎn)，是我國首臺直接面向LED大生產(chǎn)線的ICP刻蝕系統(tǒng)，實現(xiàn)了北方微電子半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴展。此次中標，標志著北方微電子LED刻蝕設(shè)備獲得市場主流生產(chǎn)線的充分肯定，使我國高端LED設(shè)備的國產(chǎn)化水平得到了新的提升。
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