白光干涉儀介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測量系統(tǒng),，為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂部成員，清華大學(xué)，臺(tái)灣大學(xué)，首爾大學(xué)友好合作伙伴?！ ?、非接觸式測量：避免物件受損。 2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。 3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換?！ ?、納米級分辨率：垂直分 [ 查看詳細(xì) ]
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