測(cè)試方法p+-si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻 文章 進(jìn)入測(cè)試方法p+-si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻技術(shù)社區(qū)
摻硼p+-Si外延層厚度的測(cè)試方法
- 0引言Si外延層厚度的測(cè)量方法有多種，主要包括稱重法、層錯(cuò)法、磨角染色法、解理法和紅外干涉法。這些方法各具特點(diǎn)與適用范圍，例如，采用紅外干射法進(jìn)行測(cè)量時(shí)，要求襯底表面對(duì)入射光具有足夠的反射能力。半導(dǎo)體材料對(duì)紅外...
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測(cè)試方法p+-si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻介紹
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