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應(yīng)用材料公司推出亮場硅片檢測工具UVision3系統(tǒng)
- 近日，應(yīng)用材料公司推出具有業(yè)界最高生產(chǎn)力的DUV(深紫外)亮場硅片檢測工具UVision® 3系統(tǒng)，它能滿足45納米前端制程和浸沒式光刻對于關(guān)鍵缺陷檢測靈敏度的要求。這個(gè)新一代的系統(tǒng)為應(yīng)用材料公司突破性的UVision技術(shù)帶來了重要的進(jìn)步，它將掃描硅片的激光束數(shù)量提升至3倍，使其生產(chǎn)速度比任何競爭對手的系統(tǒng)快40%。兩個(gè)新的成像模式將靈敏度擴(kuò)展至20納米，全新靈活的自動(dòng)缺陷分類引擎能夠迅速標(biāo)定出有害缺陷從而達(dá)到更快的成品率學(xué)習(xí)進(jìn)程。 應(yīng)用材料公司副總裁，工藝診斷控制事業(yè)部總經(jīng)理Gilad
- 關(guān)鍵字： 測試 測量 應(yīng)用材料 硅 檢測工具 操作系統(tǒng)
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