基于DSP的數(shù)字掃描探針顯微鏡的硬件解決方案研究

• 數(shù)字掃描探針顯微鏡（scanning probe microscope，SPM）是研究納米的重要工具，它利用探針和樣品的不同互相作用來探測表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)，它的問世對表面科學(xué)、物理學(xué)、微電子學(xué)、電子材料學(xué)、先進(jìn)材料和納米材料等研究領(lǐng)域技術(shù)重要的意義，與此同時，數(shù)字信號處理技術(shù)已經(jīng)發(fā)展得相當(dāng)成熟，DSP技術(shù)也已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于通信、測量、多媒體、消費電子產(chǎn)品等領(lǐng)域，由于把DSP和SPM結(jié)合在一起是SPM儀器發(fā)展的必然方向，它能使SPM性能更趨于完善，為此，本文介紹如何用TMS3
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