微導(dǎo)納米獲先進(jìn)半導(dǎo)體芯片ALD訂單

• 近日，《證券日?qǐng)?bào)》記者獲悉，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司（以下簡稱微導(dǎo)）喜獲來自某先進(jìn)半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)的首個(gè)訂單，即將交付首臺(tái)用于先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的原子層沉積（ALD）量產(chǎn)設(shè)備。該產(chǎn)品聚焦全球IC制造市場，為邏輯、存儲(chǔ)等超大集成電路制造提供關(guān)鍵工藝技術(shù)和解決方案。尤其是在國內(nèi)尖端半導(dǎo)體芯片制造方面，產(chǎn)品技術(shù)可覆蓋45納米到5納米以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)所必需的高介電常數(shù)柵氧層ALD工藝需求，填補(bǔ)了該領(lǐng)域無國產(chǎn)設(shè)備的空白。2020年，作為國內(nèi)尖端微納制造核心裝備企業(yè)，微導(dǎo)迎來了一個(gè)新的重要里程碑：再一次突破技術(shù)“無人區(qū)”
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